酸化チタン回転スパッタリングターゲット(Tioxスパッタリングターゲット)

酸化チタン スプッターターゲットは,高純度チタン二酸化物 (TiOx) から作られた陶器のターゲットで,ホットプレスシンタリングや冷静圧縮などのプロセスで生産される.高硬さなどの特性があります溶融点が高く (1855°C程度) 化学的安定性が優れているため,光学および機能性フィルムを製造するためのマグネトロンスプッタリングのための重要な材料となっています.

タイタン酸化物 (TiOx) のスプッターターゲットの優れた特性

わかった 高い 純度 は フィルム の 品質 を 保証 する

酸化チタンの標的は,通常,純度 ≥ 99.9% で,不純度が非常に低く,フィルム欠陥を効果的に軽減し,光学および電気性能の安定性を向上させる.

わかった 優れた化学的安定性

酸化チタン 噴射標的は 酸やアルカリの腐食に耐性があり 高温や高湿度などの厳しい環境で 安定した性能を維持しますフィルムの寿命を延ばす.

わかった 卓越した 光学 特質

高い屈折率と優れた伝導性があり,反射塗装 (AR),反光塗装などに適した高性能光学フィルムの製造が可能である.

わかった 密集 し て 均一 な 微細 構造

先進的な形成とシンタリングプロセスを用いて,チタン酸化物標的材料は細かく均質な粒子を有し,安定したフィルム堆積率と良い厚さ一貫性を保証します.

わかった 良い機械的強度と熱耐性

溶融点が1855°C程度であるチタン酸化物標的は,高功率噴射条件下では裂け目や損傷に耐性があり,長期連続生産に適しています.

チタン酸化物 (TiOx) のスプッターターゲットの広範な用途

わかった 光学装置の製造

酸化チタンの標的は,光学レンズ,反射コーティング (ARコーティング),反光フィルム,光学フィルターの高屈折率フィルムを製造するために使用されます.光伝達性と画像品質の向上.

わかった フォトウオルタキック産業

透明な導電膜 (TCO) の保護層または機能層として使用されるチタンオキシド標的は,光吸収効率と装置の安定性を向上させる.太陽電池と光触媒フィルムの製造に広く使用される.

わかった 半導体製造

酸化チタン スプッターターゲットは,切片や電子機器の安定性と隔熱性能を改善するために,介電層,保護フィルム,隔熱材料として使用されます.

わかった 低排出 (Low-E) エネルギー節約ガラス

酸化チタンの標的は,ガラスの熱隔熱と光伝達性を向上させるために設計された重要な機能層材料として機能します.これらの特性は,エネルギー消費を効果的に削減します.建築物における先進的な省エネソリューションに広く適用される.