Мишень для распыления нитрида титана для твердых покрытий (мишень для распыления TiN)

Мишень для напыления нитрида титана является одной из наиболее широко используемых в мире металлокерамических функциональных мишеней. Она сочетает в себе электро- и теплопроводность металлов с высокой твердостью и коррозионной стойкостью керамики. С помощью таких процессов, как магнетронное распыление, можно наносить сбалансированные функциональные пленки. Эти пленки обеспечивают необходимую защиту от износа в механическом производстве, удовлетворяют высокоточные функциональные требования полупроводниковой электроники и органично сочетают эстетическую привлекательность с надежной защитой для декоративных применений. Она широко используется в высокотехнологичных производственных областях, таких как машиностроение, электроника, декорации, аэрокосмическая промышленность и новая энергетика, что делает ее универсальным основным материалом в различных отраслях.

Выдающиеся свойства мишени для напыления нитрида титана

l Отличная плотность

Относительная плотность ≥98% при равномерном распределении размеров зерен от 3 до 10 мкм, что снижает дуговые разряды во время напыления и улучшает однородность состава пленки.

l Высокая скорость осаждения, отсутствие тумана

Оптимизированные высокие скорости осаждения максимизируют эффективность, гарантируя, что пленки остаются прозрачными, с гарантированным внешним видом и плотностью.

l Сверхтвердая и износостойкая

Эта мишень для напыления нитрида титана обладает стабильной и высокой твердостью более 1800 HV (по Виккерсу). Она обеспечивает износостойкость в 4-8 раз выше, чем у традиционных металлических пленок, сохраняя при этом необходимую прочность для активного предотвращения растрескивания пленки и обеспечения целостности покрытия.

l Низкое удельное электрическое сопротивление

Удельное сопротивление при комнатной температуре ≤150 мкОм·см, что значительно превосходит показатели традиционных керамических мишеней, делая ее пригодной для полупроводниковых затворов, теплоотводящих покрытий и других проводящих/теплопроводящих применений.

l Регулируемый цвет

Естественный золотистый цвет может быть изменен на черный, серый и другие цвета путем оптимизации процесса, удовлетворяя потребности в высококачественной декорации.

Широкое применение мишени для напыления нитрида титана

l Твердые покрытия

Покрытия мишени для напыления нитрида титана обеспечивают однородное, классическое золотисто-желтое покрытие, отличающееся исключительной прозрачностью, полностью свободное от тумана или дефектов в виде частиц. Разработанная для долговечности, поверхность обладает высокой устойчивостью как к выцветанию, так и к царапинам, обеспечивая безупречный внешний вид даже при интенсивном, долговременном использовании. Она соответствует экологическим стандартам RoHS и повышает эффективность производства более чем на 30%.

l Производство полупроводников

Обеспечивает стабильную передачу сигналов в электронных устройствах и продлевает срок службы. Покрытия TiN полностью совместимы с передовыми узлами менее 7 нм, поддерживая самые строгие требования к производству полупроводников и могут достигать коэффициента выхода полупроводников ≥98%, одновременно повышая эффективность массового производства в секторе потребительской электроники на 25%.

l Оптическая область

TiN обеспечивает превосходную четкость изображения и высокую светопропускаемость во всех оптических устройствах. Минимизируя дефекты в виде частиц, он значительно повышает коэффициент выхода линз, обеспечивая высокую производительность, необходимую для обработки тысяч прецизионных оптических компонентов в день.