TiN-titaniumnitride spuitdoel voor harde coatings

Titaniumnitride (TiN) targets zijn wereldwijd een van de meest gebruikte functionele metaal-keramische targets. Ze combineren de elektrische en thermische geleidbaarheid van metalen met de hoge hardheid en corrosiebestendigheid van keramiek. Door processen zoals magne tron sputtering kunnen functionele films met een gebalanceerde samenstelling worden afgezet. Deze films bieden essentiële slijtagebescherming voor de mechanische productie, voldoen aan de functionele eisen van halfgeleider elektronica met hoge precisie, en integreren naadloos esthetische aantrekkingskracht met robuuste bescherming voor decoratieve toepassingen. Ze worden veelvuldig gebruikt in hoogwaardige productiegebieden zoals machines, elektronica, decoratie, ruimtevaart en nieuwe energie, waardoor het een veelzijdig kernmateriaal is in diverse industrieën.

Uitstekende eigenschappen van titaniumnitride (TiN)

l Uitstekende dichtheid

Relatieve dichtheid ≥98%, met korrels die gelijkmatig verdeeld zijn tussen 3-10 μm, wat boogontlading tijdens sputtering vermindert en de uniformiteit van de filmsamenstelling verbetert.

l Hoge afzettingssnelheid, geen waasvorming

Geoptimaliseerde hoge afzettingssnelheden maximaliseren de efficiëntie, waardoor films helder blijven met gegarandeerd uiterlijk en dichtheid.

l Ultra-hard en slijtvast

Dit target biedt een consistente en robuuste hardheid van meer dan 1800 HV (Vickershardheid). Het biedt een slijtvastheid die 4 tot 8 keer groter is dan conventionele metaalfilms, terwijl de essentiële taaiheid behouden blijft om filmbarsten actief te voorkomen en de integriteit van de coating te waarborgen.

l Lage elektrische weerstand

Weerstand bij kamertemperatuur ≤150 μΩ·cm, ver overtreffend traditionele keramische targets, waardoor het geschikt is voor halfgeleider gates, warmteafvoer coatings en andere geleidende/thermisch geleidende toepassingen.

l Verstelbare kleur

Natuurlijk goudkleurig, het kan worden aangepast naar zwart, grijs en andere kleuren door procesoptimalisatie, om te voldoen aan hoogwaardige decoratieve behoeften.

Brede toepassingen van titaniumnitride (TiN)

l Hardcoatings

TiN coatings leveren een uniforme, klassieke goudgele afwerking die gekenmerkt wordt door uitzonderlijke helderheid, volledig vrij van waasvorming of defecten door deeltjes. Ontworpen voor duurzaamheid, is het oppervlak zeer goed bestand tegen zowel vervaging als krassen, wat zorgt voor een onberispelijk uiterlijk, zelfs bij intensief, langdurig gebruik. Het voldoet aan de RoHS milieunormen en verhoogt de productie-efficiëntie met meer dan 30%.

l Halfgeleiderproductie

Zorgt voor stabiele signaaloverdracht in elektronische apparaten en verlengt de levensduur. TiN coatings zijn volledig compatibel met geavanceerde nodes onder 7nm, ondersteunen de meest veeleisende halfgeleiderfabricagevereisten en kunnen een halfgeleideropbrengst van ≥98% bereiken, terwijl tegelijkertijd een 25% toename in massaproductie-efficiëntie voor de consumentenelektronica sector wordt gerealiseerd.

l Optisch veld

TiN zorgt voor superieure beeldhelderheid en hoge lichtdoorlatendheid in alle optische apparaten. Door het minimaliseren van defecten door deeltjes, verbetert het de lensopbrengst aanzienlijk, en biedt het de capaciteit voor grootschalige productie die nodig is om duizenden precisie optische componenten per dag te verwerken.