TiN 질화 티타늄 스퍼터링 타겟 (경질 코팅용)

티타늄 질화물(TiN) 타겟은 전 세계적으로 가장 널리 사용되는 금속-세라믹 기능성 타겟 중 하나입니다. 금속의 전기 및 열 전도성과 세라믹의 높은 경도 및 내식성을 결합합니다. 마그네트론 스퍼터링과 같은 공정을 통해 균형 잡힌 기능성 박막을 증착할 수 있습니다. 이러한 박막은 기계 제조에 필수적인 내마모성을 제공하고, 반도체 전자 제품의 고정밀 기능 요구 사항을 충족하며, 심미성과 견고한 보호 기능을 조화롭게 결합하여 장식용으로 사용됩니다. 기계, 전자, 장식, 항공 우주, 신에너지 등 첨단 제조 분야에서 널리 사용되어 산업 전반에 걸쳐 다용도 핵심 소재로 자리 잡고 있습니다.

티타늄 질화물(TiN)의 뛰어난 특성

l 우수한 밀도

상대 밀도 ≥98%이며, 입자 크기가 3-10 μm로 균일하게 분포되어 스퍼터링 중 아크 방전을 줄이고 박막 조성 균일성을 향상시킵니다.

l 높은 증착 속도, 안개 없음

최적화된 높은 증착 속도는 효율성을 극대화하여 외관과 밀도를 모두 보장하는 선명한 박막을 유지합니다.

l 초경질 및 내마모성

이 타겟은 1800 HV(비커스 경도) 이상의 일관되고 견고한 경도를 제공합니다. 기존 금속 박막보다 4~8배 높은 내마모성을 제공하며, 박막 균열을 적극적으로 방지하고 코팅 무결성을 보장하는 필수적인 인성을 유지합니다.

l 낮은 전기 저항률

상온 저항률 ≤150 μΩ·cm로 기존 세라믹 타겟을 훨씬 능가하여 반도체 게이트, 방열 코팅 및 기타 전도성/열 전도성 응용 분야에 적합합니다.

l 조절 가능한 색상

자연적으로 황금색을 띠지만, 공정 최적화를 통해 검은색, 회색 등 다양한 색상으로 조절 가능하여 고급 장식 요구 사항을 충족합니다.

티타늄 질화물(TiN)의 광범위한 응용 분야

l 경질 코팅

TiN 코팅은 안개나 입자 결함 없이 뛰어난 선명도를 특징으로 하는 균일하고 클래식한 황금빛 노란색 마감을 제공합니다. 수명을 위해 설계되었으며, 퇴색 및 긁힘에 대한 저항성이 뛰어나 격렬하고 장기적인 사용에도 깨끗한 외관을 유지합니다. RoHS 환경 표준을 준수하며 생산 효율성을 30% 이상 향상시킵니다.

l 반도체 제조

전자 장치의 안정적인 신호 전송을 보장하고 수명을 연장합니다. TiN 코팅은 7nm 미만의 첨단 노드와 완벽하게 호환되어 가장 엄격한 반도체 제조 요구 사항을 지원하며, ≥98%의 반도체 수율을 달성하는 동시에 소비자 전자 제품 부문의 대량 생산 효율성을 25% 향상시킬 수 있습니다.

l 광학 분야

TiN은 모든 광학 장치에서 뛰어난 이미지 선명도와 높은 광 투과율을 보장합니다. 입자 결함을 최소화하여 렌즈 수율을 크게 향상시키고, 하루에 수천 개의 정밀 광학 부품을 처리하는 데 필요한 대량 생산 능력을 제공합니다.