Cible de pulvérisation à haute résistance (cible de pulvérisation GXO)

Les cibles de pulvérisation à haute résistance sont une catégorie de matériaux cibles fonctionnels pour le revêtement par pulvérisation, caractérisés par des matériaux métalliques ou alliés à haute résistivité. Dans le processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD), les cibles de pulvérisation à haute résistance peuvent former des films minces à haute résistance, qui conviennent à l'optique, à l'électronique, aux semi-conducteurs, aux revêtements fonctionnels et à d'autres domaines. En contrôlant la composition et la structure des matériaux cibles, des films minces à haute résistance, bonne stabilité et forte adhérence peuvent être obtenus, répondant aux exigences d'optimisation des performances des appareils et aux besoins fonctionnels spéciaux.

Excellentes caractéristiques de cibles de pulvérisation à haute résistance

l Résistance réglable

La résistance du film mince peut être ajustée arbitrairement dans la plage de 10⁶ à 10⁹ Ω avec une fiabilité stable.

l Performance contrôlable

Un contrôle précis de la résistance, de la transmittance lumineuse ou de l'épaisseur peut être obtenu en ajustant la composition de la cible ou les paramètres du processus, satisfaisant ainsi les besoins de différents scénarios d'application.

l Bonne stabilité thermique

Le film mince maintient des performances stables dans des environnements de fonctionnement à haute température ou à long terme, et n'est pas sujet à la dégradation de la conductivité ou à la fissuration du film.

l Excellente compacité et adhérence du film

Le film mince déposé par des cibles de pulvérisation à haute résistance présente une structure dense et uniforme, et se combine étroitement avec le substrat, ce qui améliore la durée de vie et la fiabilité des appareils.

Applications étendues de cibles de pulvérisation à haute résistance

l Industrie photovoltaïque

Des films minces à haute résistance sont déposés sur des écrans LCD, OLED, des écrans tactiles ou des cellules solaires à couches minces pour fournir une couche de résistance uniforme tout en maintenant une transmittance lumineuse élevée, assurant une luminosité d'affichage uniforme et une réponse tactile sensible. Dans les modules photovoltaïques, ils réduisent le courant de fuite et améliorent l'efficacité de conversion photoélectrique.

l Verre automobile

Appliqués comme couches chauffantes transparentes pour les pare-brise automobiles, les rétroviseurs et le verre architectural, les films à haute résistance peuvent chauffer rapidement et uniformément, empêchant le buée ou le givrage du verre, et améliorant la sécurité et le confort. Pendant ce temps, les films ont une transmittance lumineuse élevée qui n'affecte pas la ligne de mire.

 l Fabrication de semi-conducteurs

Utilisés comme films de résistance, couches tampons ou couches d'isolation dans les capteurs, les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) ou les circuits intégrés, ils contrôlent précisément la densité de courant, protègent les appareils contre les dommages causés par les surintensités ou les courts-circuits, et offrent une fiabilité élevée et une stabilité à long terme.

l Films fonctionnels optiques

Servant de couches de films fonctionnels pour les filtres optiques et les capteurs, les films minces à haute résistance formés assurent des performances de transmission ou de réflexion optique stables, résistent aux hautes températures et aux changements environnementaux, et prolongent la durée de vie des dispositifs optiques.