Цель для распыливания с высоким сопротивлением (цель для распыливания GXO)

Мишени для высокоомного напыления представляют собой категорию функциональных материалов для напыления покрытий, характеризующихся металлическими или сплавными материалами с высоким удельным сопротивлением. В процессе физического осаждения из паровой фазы (PVD) мишени для высокоомного напыления могут формировать высокоомные тонкие пленки, подходящие для оптики, электроники, полупроводников, функциональных покрытий и других областей. Контролируя состав и структуру материалов мишеней, можно получить тонкие пленки с высоким сопротивлением, хорошей стабильностью и сильной адгезией, отвечающие требованиям оптимизации производительности устройств и особым функциональным потребностям.

Отличные характеристики мишеней для высокоомного напыления

l Регулируемое сопротивление

Сопротивление тонкой пленки может быть произвольно отрегулировано в диапазоне от 10⁶ до 10⁹ Ом со стабильной надежностью.

l Контролируемая производительность

Точный контроль сопротивления, светопропускания или толщины может быть достигнут путем регулировки состава мишени или параметров процесса, удовлетворяя потребности различных сценариев применения.

l Хорошая термическая стабильность

Тонкая пленка сохраняет стабильную производительность в условиях высоких температур или длительной эксплуатации и не подвержена деградации проводимости или растрескиванию пленки.

l Отличная плотность и адгезия пленки

Тонкая пленка, осажденная с помощью мишеней для высокоомного напыления, имеет плотную и однородную структуру и плотно соединяется с подложкой, что повышает срок службы и надежность устройств.

Широкое применение мишеней для высокоомного напыления

l Фотовольтаическая промышленность

Высокоомные тонкие пленки наносятся на ЖК-дисплеи, OLED-дисплеи, сенсорные экраны или тонкопленочные солнечные элементы для обеспечения равномерного слоя сопротивления при сохранении высокого светопропускания, обеспечивая равномерную яркость дисплея и чувствительный отклик на прикосновение. В фотовольтаических модулях они снижают ток утечки и повышают эффективность фотоэлектрического преобразования.

l Автомобильное стекло

Применяемые в качестве прозрачных нагревательных слоев для автомобильных лобовых стекол, зеркал заднего вида и архитектурного стекла, высокоомные пленки могут быстро и равномерно нагреваться, предотвращая запотевание или обледенение стекла, а также повышая безопасность и комфорт. Между тем, пленки обладают высоким светопропусканием, которое не влияет на поле зрения.

 l Производство полупроводников

Используемые в качестве резистивных пленок, буферных слоев или изоляционных слоев в датчиках, микроэлектромеханических системах (МЭМС) или интегральных схемах, они точно контролируют плотность тока, защищают устройства от повреждений, вызванных перегрузкой по току или коротким замыканием, и обеспечивают высокую надежность и долговременную стабильность.

l Оптические функциональные пленки

Выполняя роль функциональных пленочных слоев для оптических фильтров и датчиков, сформированные высокоомные тонкие пленки обеспечивают стабильную производительность оптического пропускания или отражения, устойчивы к высоким температурам и изменениям окружающей среды, а также продлевают срок службы оптических устройств.