هدف پاشش تربیم (Tb) اهداف پاشش فلزات خاکی کمیاب

اهداف تربیم با تربیم (Tb) با خلوص بالا به عنوان جزء اصلی ساخته شده و اهداف اسپاترینگ فلزات خاکی کمیاب مهمی هستند. با خواص مغناطیسی بالا، پایداری حرارتی عالی و پایداری شیمیایی، اهداف تربیم به طور گسترده در فیلم‌های مغناطیسی، پوشش‌های نوری، فیلم‌های عملکردی نیمه‌هادی، انرژی هسته‌ای و زمینه‌های مواد تحقیقاتی استفاده می‌شوند. این اهداف که با استفاده از فرآیندهای پیشرفته مانند ذوب خلاء و پرس ایزواستاتیک داغ (HIP) آماده می‌شوند، دارای چگالی بالا و ریزساختارهای یکنواخت هستند و الزامات سختگیرانه الکترونیک‌های پیشرفته و فیلم‌های عملکردی را برآورده می‌کنند.

ویژگی‌های عالی هدف تربیم

l خلوص بالا و چگالی بالا

هدف متراکم و یکنواخت با خلوص ≥99.9% است که منافذ و ناخالصی‌ها را کاهش داده و کیفیت لایه فیلم را بهبود می‌بخشد.

l خواص مغناطیسی عالی

عناصر تربیم می‌توانند خواص مغناطیسی و مغناطیس-نوری را در مواد مغناطیسی به طور قابل توجهی افزایش دهند.

l پایداری حرارتی قوی

پایداری ساختاری را تحت شرایط اسپاترینگ دمای بالا حفظ می‌کند و از تاب برداشتن یا ترک خوردن جلوگیری می‌کند.

l پایداری شیمیایی قوی

در خلاء یا اتمسفرهای خنثی پایدار است و به راحتی اکسید یا واکنش شیمیایی نمی‌دهد.

کاربردهای گسترده هدف تربیم

l ساخت نیمه‌هادی

برای تهیه فیلم‌های عملکردی با خواص مغناطیسی و الکتریکی خاص، بهینه‌سازی عملکرد دستگاه نیمه‌هادی استفاده می‌شود.

l ساخت دستگاه نوری

در تهیه فیلم‌های نوری با کارایی بالا، بهبود بازتاب، عبور و پایداری لایه فیلم اجزای نوری استفاده می‌شود.

l فیلم‌های مغناطیسی

برای مواد مغناطیسی خاکی کمیاب، فیلم‌های مقاومت مغناطیسی غول‌پیکر (GMR) و دستگاه‌های ذخیره‌سازی مغناطیس-نوری استفاده می‌شود و چگالی ذخیره‌سازی و عملکرد پاسخ مغناطیسی را افزایش می‌دهد.