Celem rozpylania tlenkiem ZnO tlenku cynku w procesie PVD

Tarcze z tlenku cynku są kluczowymi materiałami do wydajnej produkcji cienkich warstw, szeroko stosowanymi w procesie fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD). Tlenek cynku zapewnia wydajne i jednorodne źródło materiału, zapewniając doskonałą jakość i spójność cienkich warstw powstających na podłożu. Tlenek cynku (ZnO) to biały proszek o wyjątkowych właściwościach elektrycznych i optycznych. Wybór tlenku cynku jako materiału docelowego opiera się przede wszystkim na jego unikalnej stabilności chemicznej i doskonałych właściwościach fizycznych. Te cechy pozwalają mu wytrzymać środowiska depozycji o wysokiej energii podczas produkcji, zachowując jednocześnie czystość chemiczną i integralność strukturalną.

Wyjątkowe właściwości tarczy z tlenku cynku (ZnO)

l Wysoka czystość zapewnia wydajność warstwy

Tarcze z tlenku cynku mogą osiągnąć czystość powyżej 99,99%, z niską zawartością zanieczyszczeń, zapewniając doskonałe właściwości elektryczne i optyczne rozpylanych cienkich warstw.

l Doskonała przepuszczalność optyczna

Przepuszczalność optyczna w zakresie światła widzialnego może przekraczać 80%, co czyni go odpowiednim do przygotowywania optycznych warstw o wysokiej przezroczystości i przezroczystych warstw przewodzących.

l Dobra przewodność (możliwość domieszkowania)

Poprzez domieszkowanie pierwiastkami takimi jak Al, Ga i B, rezystywność można znacznie zmniejszyć, co czyni go przyjazną dla środowiska alternatywą dla przezroczystych warstw przewodzących ITO.

l Doskonała stabilność chemiczna

Jest odporny na korozję kwasową i alkaliczną, zachowując stabilną wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokiej wilgotności.

Szerokie zastosowania tarczy z tlenku cynku (ZnO)

l Panele wyświetlaczy

Tarcze z tlenku cynku mogą być używane do produkcji przezroczystych i przewodzących warstw (zastępujących ITO). Dzięki doskonałej przepuszczalności optycznej, niskiej rezystywności i stabilności chemicznej, tarcze z tlenku cynku mogą poprawić jednorodność jasności, szybkość reakcji i żywotność wyświetlaczy.

l Produkcja urządzeń optycznych

Tarcze z tlenku cynku są używane do produkcji różnych urządzeń optoelektronicznych, takich jak diody LED i diody laserowe. W tych zastosowaniach kluczowe są właściwości optyczne i przewodność warstw tlenku cynku. Dlatego warunki osadzania (takie jak temperatura, ciśnienie i szybkość osadzania) muszą być precyzyjnie kontrolowane.

l Przemysł fotowoltaiczny

Tarcze z tlenku cynku (ZnO) odgrywają kluczową rolę w produkcji ogniw słonecznych, dostarczając wysoce przezroczyste i przewodzące warstwy, które często zastępują tradycyjne warstwy tlenku indu cyny (ITO). To zastosowanie jest szczególnie ważne w produkcji cienkowarstwowych ogniw słonecznych, gdzie optymalizacja przezroczystości i przewodności warstwy tlenku cynku bezpośrednio decyduje o ogólnej wydajności urządzenia.