インジウムセリウム酸化物(InCeO)ターゲットは、高温焼結または熱間等方圧プレスによって製造される新しいタイプの透明導電性酸化物ターゲットです。従来のITOターゲットと比較して、優れた透過率、電気伝導率、環境安定性、および柔軟性との互換性を示します。これにより、ハイエンドディスプレイ、太陽光発電、フレキシブルエレクトロニクス、および精密光学における薄膜成膜に適しています。
l 高い透過率
インジウムセリウム酸化物ターゲットを使用して成膜されたフィルムは、可視光透過率85%~90%を達成し、優れた光学性能を提供します。ディスプレイ、タッチパネル、太陽光発電モジュールの光透過効率を効果的に向上させ、より鮮明な画像、高い輝度、および消費エネルギーの削減をもたらします。
l 低抵抗率
セリウムドーピングは、材料の格子構造を効果的に最適化し、キャリア濃度と移動度の両方を大幅に増加させます。フィルムのシート抵抗は、従来のITOフィルムよりも低くすることができ、より高い導電性を実現します。この低抵抗率は、タッチ応答速度を大幅に向上させ、太陽電池の光電変換効率と長期安定性を高めます。
l S安定性と均一性
インジウムセリウム酸化物ターゲットは、良好な熱的および化学的安定性を示し、高温コーティング中または複雑な環境下での分解や性能低下を最小限に抑えます。その均一で高密度の構造は、大面積成膜中のフィルム厚と光電子性能の一貫性を保証します。
l ディスプレイパネル
インジウムセリウム酸化物(ICO)ターゲットは、LCD、OLED、Mini/Micro-LEDを含むハイエンドディスプレイの製造において、透明導電膜を形成するためにスパッタリングされます。これらのフィルムは、ディスプレイパネルの電極および相互接続に高い透過率と低抵抗率を提供し、輝度均一性を大幅に向上させ、コントラストを高め、耐用年数を延ばします。
l タッチスクリーン技術
インジウムセリウム酸化物フィルムは、スマートフォン、タブレット、車載ディスプレイ、産業用制御パネルなどのタッチ製品のタッチ電極として、従来のITOフィルムを置き換えることができます。この用途により、より高速な応答、より優れた透過率、および柔軟性との互換性の向上を実現し、狭額縁および大型タッチスクリーンの設計をサポートします。
l 太陽光発電産業
ヘテロ接合(HJT)およびペロブスカイトタンデムセルなどの高効率太陽電池では、インジウムセリウム酸化物(ICO)ターゲットが透明導電電極材料として利用されています。これらの材料は、直列抵抗を効果的に低減し、光電変換効率を向上させ、安定性を高め、次世代太陽光発電モジュールに高性能な導電ソリューションを提供します。
l フレキシブルエレクトロニクス
インジウムセリウム酸化物(ICO)ターゲットは、ポリイミド(PI)やPETなどのフレキシブル基板上にスパッタリングして、耐久性のあるフレキシブル透明電極を作成できます。これらの先進的なフィルムは、最先端の折りたたみ式ディスプレイ、ウェアラブルデバイス、フレキシブルセンサーなどの新興製品に利用されています。
l 光学デバイス製造
インジウムセリウム酸化物ターゲットは、光学ガラス、光学フィルムスタック、フィルター、および反射防止コーティングのコーティングに利用されています。これらの用途は、高い透過率を維持しながら、同時に導電性または帯電防止特性を付与し、光通信や高度な光学センシングなどの精密光学分野に最適です。