高純度 密度均一性 Al2O3 アルミナスパッタリングターゲット

アルミニウムオキシド標的は,高純度アルミニウムオキシド (Al2O3) から作られ,薄膜堆積プロセスで一般的に使用されます.他の薄膜堆積技術アルミオキシド標的の特性には,高溶融点,優れた化学的安定性,良好な熱伝導性,要求の高い真空コーティングとスプッター環境で安定した動作を保証する.

アルミオキシド (Al2O3) 標的の優れた特性

わかった 高密度

熱圧技術を用いて,標的の密度が90%~95%まで増加し,材料の強度と安定性を著しく向上させる.

わかった 高度な純度

特別に選択された原粉で,極低の不純度で,純度 ≥99.99%を保証する.

わかった 高い 均一性

シンタリングパラメータの繰り返し校正により,均質な温度制御と高い材料一貫性が確保されます.

 アルミオキシド標的 (Al2O3) の広範な用途

わかった 半導体製造

アルミニウムオキシド標的は,半導体製造プロセス,特に統合回路およびCMOS技術で広く使用されています.イオンインプランテーションマスク, 優れた電気隔熱と熱安定性を有します. Al2O3フィルムは,装置の断熱電圧と介電強度を向上させることができます.薄膜コンデンサターやウエファーレベルのパッケージに広く使用される.

わかった 光学部品製造

アルミニウム酸化アルミニウム酸化アルミ酸化アルミ酸化アルミ酸化アルミ酸化アルミ酸化アルミ酸化アルミ2オー3フィルムは,高度な機能的な光学コーティングに理想的です.アプリケーションには反射防止コーティング (ARフィルム),赤外線フィルター,光学保護層が含まれます.これらのコーティングは,光学システムが複雑な環境で最高性能を維持し,重要な光学部品の耐磨性や耐腐蝕性を効果的に改善することを保証します..

わかった 新エネルギー の 応用

超薄型アルミニウムオキシドAl2O3フィルムは,エネルギーアプリケーションにおいて重要かつ多用途な役割を果たします.リチウムイオン電池では,フィルムは保護層として機能します.水晶性シリコン光伏電池用ペロビスキット光伏電池内ではAl2O3は,電子輸送層または障壁層として作用し,デバイスの全体的な性能を大幅に改善します..

わかった ディスプレイパネル

アルミニウムオキシド標的で製造されたフィルムは高硬さと強い粘着性があり,光伝達隔熱と構造層のために理想的です.スクリーン用の防傷コーティングなどの用途に使用されます精密器具のための保護フィルム,および工業模具のための表面硬化処理.これらのコーティングは,耐磨性を向上させるだけでなく,機器の使用期間を延長し,維持費を削減します.