Zastosowalny współczynnik Metale Celem rozpylania Nikkel Vanadium NiV Celem stopu

Tarcza niklowo-wanadowa to funkcjonalna tarcza wykonana ze stopów niklu (Ni) i wanadu (V) o wysokiej czystości, szeroko stosowana w procesach osadzania cienkich warstw metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) i rozpylania. Dzięki doskonałej przewodności i odporności na korozję niklu oraz wysokiej twardości i odporności na utlenianie wanadu, tarcza niklowo-wanadowa może osadzać cienkie warstwy o wysokiej twardości, gęstości i odporności na ścieranie, spełniając rygorystyczne wymagania w dziedzinach takich jak optyka, elektronika, fotowoltaika i przemysłowe powłoki funkcjonalne.

Główne zalety tarczy niklowo-wanadowej

l Wysoka czystość

Czystość zazwyczaj waha się od 99,95% (3N5) do 99,999% (5N), z zanieczyszczeniami takimi jak Cr, Al, Mg kontrolowanymi poniżej 10 ppm, a w niektórych przypadkach wymagane jest U/Th ≤ 1 ppb. Tak wysoka czystość zapewnia jakość cienkiej warstwy.

l Odporność na korozję

Pozostaje stabilna w środowiskach kwaśnych, zasadowych i wysokotemperaturowych, co czyni ją odpowiednią do trudnych warunków pracy.

l Dobre właściwości fizyczne

Gęstość wynosi około 8,0–8,9 g/cm³, temperatura topnienia wynosi około 1350°C, a współczynnik rozszerzalności cieplnej wynosi 1,2×10&sup-5; / °C. Te właściwości fizyczne zapewniają stabilność tarczy ze stopu niklowo-wanadowego w różnych środowiskach.

l Drobna struktura ziarna

Rozmiar ziarna tarczy ze stopu niklowo-wanadowego wynosi ≤150 μm dzięki specjalnemu procesowi przygotowania, z drobnymi i równomiernie rozmieszczonymi ziarnami, co zapewnia jednorodność rozpylanych cienkich warstw i poprawia szybkość rozpylania.

Główne zastosowania tarczy niklowo-wanadowej

1.  Układy scalone

W produkcji układów scalonych czyste złoto jest zazwyczaj używane do powierzchniowej warstwy przewodzącej, ale złoto i płytki krzemowe łatwo tworzą związki o niskiej temperaturze topnienia, prowadząc do słabego wiązania międzyfazowego. Tarcza ze stopu niklowo-wanadowego może jednocześnie rozpylać warstwę niklu (warstwa wiążąca) i warstwę wanadu (warstwa barierowa), zapobiegając dyfuzji złota i krzemu oraz zastępując tradycyjne tarcze z czystego niklu, poprawiając wydajność i stabilność układów scalonych.

2. Wyświetlacze płaskie

Może być stosowana do powlekania wyświetlaczy płaskich, poprawiając ich wydajność, taką jak odporność na ścieranie ekranu o jakości wyświetlania. W dziedzinie cienkowarstwowych ogniw słonecznych tarcza ze stopu niklowo-wanadowego może być używana do przygotowania warstw elektrod, co pomaga w poprawie wydajności fotoelektrycznej konwersji ogniw słonecznych.

3. Przemysł lotniczy

Ze względu na wysoką wytrzymałość i odporność na wysokie temperatury, tarcza ze stopu niklowo-wanadowego może być używana do produkcji komponentów silników lotniczych, części rakiet itp., spełniając wymagania materiałowe o wysokiej wydajności przemysłu lotniczego.

4. Medycyna

Może być stosowana do produkcji powłok do urządzeń medycznych, zapewniając odporność na ścieranie, korozję i właściwości antybakteryjne, poprawiając żywotność i bezpieczeństwo sprzętu medycznego.

5. Szkło architektoniczne

Jest używane do powlekania dużego szkła architektonicznego, szkła samochodowego itp., osiągając funkcje takie jak izolacja cieplna, ochrona przed promieniowaniem UV i zwiększenie wytrzymałości szkła, poprawiając wydajność i jakość szkła.