هدف اسپوتینگ متلی با نسبت قابل تنظیم هدف آلیاژ نیکل واندیم NiV

هدف نیکل-وانادیوم یک هدف کاربردی است که از آلیاژهای نیکل (Ni) و وانادیوم (V) با خلوص بالا ساخته شده و به طور گسترده در فرآیندهای رسوب فیزیکی بخار (PVD) و پوشش‌دهی اسپاترینگ استفاده می‌شود. با هدایت عالی و مقاومت در برابر خوردگی نیکل، و سختی بالا و مقاومت در برابر اکسیداسیون وانادیوم، هدف نیکل-وانادیوم می‌تواند لایه‌های نازک با سختی بالا، متراکم و مقاوم در برابر سایش را رسوب دهد که با الزامات عملکردی سخت در زمینه‌هایی مانند اپتیک، الکترونیک، فتوولتائیک و پوشش‌های کاربردی صنعتی مطابقت دارد.

مزایای اصلی هدف نیکل-وانادیوم

l خلوص بالا

خلوص معمولاً از 99.95% (3N5) تا 99.999% (5N) متغیر است، با ناخالصی‌هایی مانند Cr، Al، Mg که کمتر از 10ppm کنترل می‌شوند و در برخی موارد U/Th ≤ 1ppb مورد نیاز است. این خلوص بسیار بالا کیفیت لایه نازک را تضمین می‌کند.

l مقاومت در برابر خوردگی

در محیط‌های اسیدی، قلیایی و دمای بالا پایدار می‌ماند و آن را برای شرایط کاری سخت مناسب می‌سازد.

l خواص فیزیکی خوب

چگالی تقریباً 8.0-8.9 گرم بر سانتی‌متر مکعب، نقطه ذوب حدود 1350 درجه سانتی‌گراد و ضریب انبساط حرارتی 1.2×10⁻⁵/°C است. این خواص فیزیکی پایداری هدف آلیاژ نیکل-وانادیوم را در محیط‌های مختلف تضمین می‌کند.

l ساختار دانه‌ای ریز

اندازه دانه هدف آلیاژ نیکل-وانادیوم از طریق یک فرآیند آماده‌سازی ویژه ≤150 میکرومتر است، با دانه‌های ریز و توزیع شده به طور یکنواخت، که یکنواختی لایه‌های نازک اسپاتر شده را تضمین کرده و سرعت اسپاترینگ را بهبود می‌بخشد.

کاربردهای اصلی هدف نیکل-وانادیوم

1.  مدارهای مجتمع

در ساخت مدارهای مجتمع، معمولاً از طلای خالص برای لایه رسانای سطحی استفاده می‌شود، اما طلا و ویفرهای سیلیکونی به راحتی می‌توانند ترکیبات با نقطه ذوب پایین تشکیل دهند که منجر به پیوند ضعیف در رابط می‌شود. هدف آلیاژ نیکل-وانادیوم می‌تواند به طور همزمان یک لایه نیکل (لایه پیوند) و یک لایه وانادیوم (لایه مانع) را اسپاتر کند، از انتشار طلا-سیلیکون جلوگیری کرده و جایگزین اهداف سنتی نیکل خالص شود و عملکرد و پایداری مدارهای مجتمع را بهبود بخشد.

2. نمایشگرهای تخت

می‌توان از آن برای پوشش‌دهی نمایشگرهای تخت استفاده کرد و عملکرد آن‌ها را بهبود بخشید، مانند مقاومت در برابر سایش صفحه نمایش با کیفیت. در زمینه سلول‌های خورشیدی لایه نازک، هدف آلیاژ نیکل-وانادیوم می‌تواند برای آماده‌سازی لایه‌های الکترود استفاده شود که به بهبود راندمان تبدیل فوتوالکتریک سلول‌های خورشیدی کمک می‌کند.

3. هوافضا

به دلیل استحکام بالا و مقاومت در دمای بالا، هدف آلیاژ نیکل-وانادیوم می‌تواند برای ساخت قطعات موتور هواپیما، قطعات موشک و غیره استفاده شود و الزامات مواد با کارایی بالا صنعت هوافضا را برآورده کند.

4. حوزه پزشکی

می‌توان از آن برای ساخت پوشش برای دستگاه‌های پزشکی استفاده کرد و خواص مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی و خواص ضد باکتریایی را فراهم کرد و طول عمر و ایمنی تجهیزات پزشکی را بهبود بخشید.

5. شیشه معماری

برای پوشش‌دهی شیشه‌های بزرگ معماری، شیشه‌های خودرو و غیره استفاده می‌شود و عملکردهایی مانند عایق حرارتی، محافظت در برابر اشعه ماوراء بنفش و افزایش استحکام شیشه را به دست می‌آورد و عملکرد و کیفیت شیشه را بهبود می‌بخشد.