Настраиваемая пропорция металлического распыливания Никель ванадий НиВ сплав Цель

Никель-ванадиевая мишень — это функциональная мишень, изготовленная из высокочистых сплавов никеля (Ni) и ванадия (V), широко используемая в процессах физического осаждения из паровой фазы (PVD) и распыления. Благодаря превосходной проводимости и коррозионной стойкости никеля, а также высокой твердости и стойкости к окислению ванадия, никель-ванадиевая мишень позволяет наносить тонкие пленки с высокой твердостью, плотностью и износостойкостью, соответствующие строгим требованиям к производительности в таких областях, как оптика, электроника, фотовольтаика и промышленные функциональные покрытия.

Основные преимущества никель-ванадиевой мишени

l Высокая чистота

Чистота обычно варьируется от 99,95% (3N5) до 99,999% (5N), при этом примеси, такие как Cr, Al, Mg, контролируются на уровне ниже 10 ppm, а в некоторых случаях требуются U/Th ≤ 1 ppb. Такая высокая чистота обеспечивает качество тонкой пленки.

l Коррозионная стойкость

Остается стабильной в кислой, щелочной и высокотемпературной среде, что делает ее пригодной для суровых условий эксплуатации.

l Хорошие физические свойства

Плотность составляет приблизительно 8,0–8,9 г/см³, температура плавления около 1350°C, а коэффициент теплового расширения — 1,2×10−5/°C. Эти физические свойства обеспечивают стабильность никель-ванадиевой сплавной мишени в различных средах.

l Мелкозернистая структура

Размер зерна никель-ванадиевой сплавной мишени составляет ≤150μm благодаря специальному процессу подготовки, с мелкими и равномерно распределенными зернами, что обеспечивает однородность распыленных тонких пленок и повышает скорость распыления.

Основные области применения никель-ванадиевой мишени

1.  Интегральные схемы

При изготовлении интегральных схем для поверхностного проводящего слоя обычно используется чистый золото, но золото и кремниевые пластины легко образуют соединения с низкой температурой плавления, что приводит к слабому межфазному соединению. Никель-ванадиевая сплавная мишень может одновременно распылять никелевый слой (связующий слой) и ванадиевый слой (барьерный слой), предотвращая диффузию золота и кремния и заменяя традиционные мишени из чистого никеля, улучшая производительность и стабильность интегральных схем.

2. Плоскопанельные дисплеи

Может использоваться для нанесения покрытий на плоскопанельные дисплеи, улучшая их характеристики, такие как износостойкость экрана с качеством изображения. В области тонкопленочных солнечных элементов никель-ванадиевая сплавная мишень может использоваться для изготовления электродных слоев, что способствует повышению фотоэлектрической эффективности преобразования солнечных элементов.

3. Аэрокосмическая промышленность

Благодаря высокой прочности и термостойкости никель-ванадиевая сплавная мишень может использоваться для изготовления компонентов авиационных двигателей, деталей ракет и т. д., удовлетворяя требования аэрокосмической промышленности к высокопроизводительным материалам.

4. Медицинская область

Может использоваться для изготовления покрытий для медицинских устройств, обеспечивая износостойкость, коррозионную стойкость и антибактериальные свойства, улучшая долговечность и безопасность медицинского оборудования.

5. Архитектурное стекло

Используется для нанесения покрытий на крупногабаритное архитектурное стекло, автомобильное стекло и т. д., выполняя такие функции, как теплоизоляция, защита от УФ-излучения и повышение прочности стекла, улучшая характеристики и качество стекла.