니켈-바나디오 표적은 고순도 니켈 (Ni) 및 바나디오 (V) 합금으로 만든 기능적 표적이며, 물리적 증기 퇴적 (PVD) 및 스프터링 코팅 프로세스에서 널리 사용됩니다.니켈의 우수한 전도성 및 부식 저항성, 바나디움의 높은 단단성과 산화 저항성, 니켈-바나디움 표적은 고강도, 밀도, 그리고 마모에 저항하는 얇은 필름을 저장할 수 있습니다.광학과 같은 분야에서 엄격한 성능 요구 사항에 부합합니다., 전자제품, 태양광 및 산업용 기능 코팅.
난 높은 순수성
청결도는 일반적으로 99.95% (3N5) 에서 99.999% (5N) 까지이며, Cr, Al, Mg와 같은 불순물은 10ppm 이하로 제어되며, 일부 경우 U/Th ≤ 1ppb가 필요합니다.이 높은 순수성은 얇은 필름의 품질을 보장합니다..
난 부식 저항성
산성, 알칼리성, 고온 환경에서도 안정적으로 유지되므로 가혹한 작업 조건에도 적합합니다.
난 좋은 신체적 특성
밀도는 약 8.0~8.9g/cm3, 녹는점은 약 1350°C이며 열 확장 계수는 1.2×10−5/°C이다.이러한 물리적 특성은 다양한 환경에서 니켈-바나디움 합금 목표의 안정성을 보장합니다..
난 얇은 곡물 구조
니켈-바나디움 합금 목표물의 곡물 크기는 특수 준비 과정을 통해 ≤150μm이며, 얇고 균등하게 분포된 곡물이 있습니다.스프터링 된 얇은 필름의 균일성을 보장하고 스프터링 속도를 향상시킵니다..
니켈-바나디움 표적의 주요 응용
1.융합 회로
통합 회로 제조에서 순수한 금은 일반적으로 표면 전도성 층에 사용됩니다. 그러나 금과 실리콘 웨이퍼는 낮은 녹는 지점 화합물을 쉽게 형성 할 수 있습니다.약한 인터페이스 결합으로 이어집니다.니켈-바나디움 합금 표적은 동시에 니켈 층 (결합 층) 과 바나디움 층 (장벽 층) 을 스프터 할 수 있습니다.금과 실리콘의 확산을 방지하고 전통적인 순수한 니켈 타겟을 대체합니다., 통합 회로의 성능과 안정성을 향상시킵니다.
2.평면 화면
평면 화면 화면을 코팅하는 데 사용할 수 있습니다.니켈-바나디오 합금 표적이 전극 층을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.태양전지의 광전기 변환 효율을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
3.항공우주
높은 강도와 높은 온도 저항성으로 인해 니켈-바나디오 합금 표적이 항공기 엔진, 미사일 부품 등을 제조하는 데 사용될 수 있습니다.항공우주산업의 고성능 재료 요구 사항을 충족시키는.
4.의학 분야
의료기기 코팅 제조에 사용할 수 있으며, 마모 저항성, 부식 저항성 및 항균 특성을 제공하여 의료 장비의 수명과 안전성을 향상시킵니다.
5.건축 유리
그것은 큰 건축 유리, 자동차 유리 등을 코팅하는 데 사용됩니다. 열 단열, 자외선 보호 및 유리 강도를 높이는 기능과 같은 기능을 달성합니다.유리 성능과 품질을 향상.