Плоская / Вращающаяся мишень для распыления из алюминиево-скандиевого сплава (AlSc)

Мишень из алюминия и скандия — это высокопроизводительная мишень для напыления, синтезированная из металлов алюминия и скандия в определенных пропорциях. Она сочетает в себе легкий вес, отличную электро- и теплопроводность алюминия с упрочнением редкоземельными элементами, измельчением зерна и высокой термостойкостью скандия. Обычно она производится с использованием таких процессов, как вакуумная плавка, порошковая металлургия и горячее изостатическое прессование. Готовый продукт отличается плотной структурой, однородным составом и низким содержанием примесей, что делает его идеальным выбором для высококачественного осаждения тонких пленок, производства полупроводников и дисплейных панелей.

Основные преимущества мишени из алюминия и скандия

l Высокая прочность и малый вес

Добавление скандия в сплав алюминия и скандия значительно препятствует росту зерна, образуя мелкозернистые структуры, которые повышают прочность, ударную вязкость и сопротивление усталости материала. В то же время низкая плотность алюминия делает мишень из алюминия и скандия одновременно прочной и легкой.

l Хорошая термическая стабильность

Высокая температура плавления скандия обеспечивает сплаву отличную термостойкость. Мишени из сплава алюминия и скандия устойчивы к химическим реакциям или снижению производительности в высокотемпературных средах, сохраняя хорошие физические и химические свойства.

l Отличная проводимость

Пленка из сплава алюминия и скандия имеет низкое удельное сопротивление, образуя эффективные токопроводящие каналы в устройствах. Хотя ее проводимость немного ниже, чем у чистого алюминия, она сохраняет превосходный электрический профиль, обеспечивая высокую точность работы в полупроводниковых и электронных приложениях.

l Высокая коррозионная стойкость

Коррозионная стойкость сплавов алюминия и скандия обусловлена оксидным слоем, образующимся на поверхности алюминия, и высокой химической стабильностью скандия. Это позволяет сплаву отлично работать в химически агрессивных средах.

Хорошие пьезоэлектрические свойства: При использовании мишеней из алюминия и скандия для получения пленок AlN, легированных Sc, их пьезоэлектрические свойства значительно улучшаются. Например, легирование 35 ат.% Sc в AlN может увеличить его пьезоэлектрическую производительность (Keff²) до 15,5%, что в 2,6 раза выше, чем у чистого AlN (Keff2 6%).

Основные области применения мишени из алюминия и скандия

l Аэрокосмическая промышленность

Может использоваться для изготовления крыльев самолетов, фюзеляжей, компонентов двигателей и многого другого, значительно снижая общий вес самолета и улучшая топливную эффективность и летные характеристики. В спутниковых конструкциях пленки из сплава алюминия и скандия повышают устойчивость спутника к радиации и коррозии в суровых условиях космического пространства.

l Электронная промышленность

В производстве полупроводников мишени из алюминия и скандия используются с такими технологиями, как магнетронное распыление, для формирования однородных и плотных тонких пленок на полупроводниковых подложках. Эти пленки могут использоваться в производстве интегральных схем и запоминающих устройств. В оптических устройствах и устройствах мобильной связи пленки, осажденные из мишеней из алюминия и скандия, используются в ключевых компонентах, таких как ВЧ-фильтры и оптические изоляторы.

l Оптическая и оптоэлектронная области

Мишени из алюминия и скандия могут генерировать оптические пленки с высокой отражательной способностью и коррозионной стойкостью посредством распыления; используются в высококачественных зеркалах, фильтрах, лазерном оборудовании и т. д. В волоконно-оптической связи пленки из алюминия и скандия используются в качестве облицовочных материалов, эффективно повышая долговечность и устойчивость к повреждениям оптических волокон.

l Энергетическая промышленность

В солнечных элементах пленки из мишеней из алюминия и скандия могут использоваться в качестве электродных материалов для снижения удельного сопротивления пленки и улучшения проводимости электрода, тем самым увеличивая выходную мощность солнечного элемента. В электрохимических батареях пленки из алюминия и скандия повышают стабильность электрода и коррозионную стойкость, продлевая срок службы батареи.

l Медицинская область

Пленки, полученные из мишеней из алюминия и скандия, обладают отличной биосовместимостью и коррозионной стойкостью, что делает их пригодными для поверхностей медицинских имплантатов, таких как ортопедические имплантаты и сердечно-сосудистые стенты. Они эффективно повышают износостойкость имплантатов, продлевают срок их службы и снижают риск вторичных операций.