평면 / 회전 AlSc 알루미늄 스칸듐 스퍼터링 타겟

알루미늄-스칸디움 표적은 알루미늄과 스칸디움 금속에서 합성된희토류 강화로 알루미늄의 우수한 전기 및 열 전도성스칸디움은 일반적으로 진공 녹음, 분말 금속공학 및 뜨거운 동역 압축과 같은 과정을 사용하여 생산됩니다.완제품은 밀도가 높은 구조를 가지고 있습니다., 균일한 구성, 그리고 낮은 불순물 함유, 고가 얇은 필름 퇴적, 반도체, 디스플레이 패널 제조를위한 이상적인 선택.

알루미늄 스칸디움 표적의 주요 장점

난 높은 강성 과 가벼운 무게

알루미늄과 스칸디움 합금에 스칸디움을 추가하면 곡물 성장이 크게 억제되고, 강도, 견고성,그리고 재료의 피로 저항성동시에, 알루미늄의 낮은 밀도는 알루미늄-스칸디움 표적을 강력하고 가볍게 만듭니다.

난 좋은 열 안정성

스칸디움의 높은 녹는점은 합금에 뛰어난 고온 안정성을 제공합니다.알루미늄-스칸디움 합금 타겟은 고온 환경에서 화학 반응이나 성능 저하에 저항합니다., 좋은 물리적 및 화학적 특성을 유지합니다.

난 탁월 한 전도력

알루미늄-스칸디움 합금 필름은 낮은 저항성을 가지고 있으며, 장치에서 효율적인 전류 채널을 형성합니다.우수한 전기 프로파일을 유지합니다., 반도체 및 전자 애플리케이션에서 높은 신뢰성 성능을 보장합니다.

난 강한 부식 저항성

알루미늄-스칸디움 합금의 부식 저항성은 알루미늄 표면에 형성된 산화질층과 스칸디움의 높은 화학적 안정성으로 인해 발생합니다.이것은 합금 화학적으로 부식 환경에서도 우수한 성능을 발휘 할 수 있습니다.

좋은 피에조 전기적 성질: Sc-doped AlN 필름을 준비하기 위해 알루미늄-스칸디움 표적이 사용되면, 그들의 피에조 전기적 성질이 크게 향상됩니다. 예를 들어,35%의 Sc를 AlN로 도핑하면 그 피에조 전기 성능 (Keff2) 을 15%까지 증가시킬 수 있습니다.0.5%, 순수한 AlN (Keff2 6%) 보다 2.6배 높습니다.

알루미늄 스칸디움 표적의 주요 응용 분야

난 항공우주산업

비행기의 날개, 몸체, 엔진 부품 등을 제조하는 데 사용할 수 있으며, 항공기의 전체 무게를 크게 줄이고 연료 효율과 비행 성능을 향상시킵니다.위성 구조, 알루미늄-스칸디움 합금 필름은 외계 공간의 혹독한 환경에서 위성의 방사선 및 부식 저항성을 향상시킵니다.

난 전자 산업

반도체 제조에서 알루미늄-스칸디움 표적은 반도체 기판에 균일하고 밀도가 높은 얇은 필름을 형성하기 위해 마그네트론 스프터링과 같은 기술로 사용됩니다.이 필름은 통합 회로 및 저장 장치의 생산에 사용될 수 있습니다.광학 및 이동 통신 장치에서 알루미늄-스칸디움 표적에서 퇴적된 필름은 RF 필터와 광적 격리기와 같은 주요 구성 요소에 사용됩니다.

난 광학 및 광전자 필드

알루미늄-스칸디움 타겟은 스프터링을 통해 높은 반사성과 부식 저항성을 가진 광적 필름을 생성 할 수 있습니다. 고급 거울, 필터, 레이저 장비 등에 사용됩니다.광섬유 통신, 알루미늄-스칸디움 필름은 클래싱 재료로 사용되며 광섬유의 내구성과 손상 저항성을 효과적으로 향상시킵니다.

난 에너지 산업

태양전지에서는 알루미늄-스칸디움 표적 필름을 전극 재료로 사용하여 필름 저항성을 줄이고 전극 전도성을 향상시켜 태양전지의 에너지 출력을 증가시킬 수 있습니다.전기화학 배터리, 알루미늄-스칸디움 필름은 전극의 안정성과 부식 저항성을 향상시켜 배터리의 수명을 연장합니다.

난 의학 분야

알루미늄-스칸디움 표적에서 생성된 필름은 뛰어난 생물 호환성 및 부식 저항성을 가지고 있으며, 이를 의료 임플란트의 표면에 적합하게 만듭니다.위장 임플란트 및 심혈관 스텐트그들은 효과적으로 임플란트의 마모 저항성을 향상시키고, 그들의 서비스 수명을 연장하고, 2차 수술의 위험을 줄입니다.