เป้าหมายการกระจาย AlSc แอลลูมิเนียมสแคนดิอุมแบบเรียบ / แหมุน

เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมเป็นเป้าสปัตเตอริงประสิทธิภาพสูงที่สังเคราะห์จากโลหะอะลูมิเนียมและสแกนเดียมในอัตราส่วนที่เฉพาะเจาะจง ผสมผสานน้ำหนักเบา การนำไฟฟ้าและความร้อนที่ดีเยี่ยมของอะลูมิเนียมเข้ากับการเสริมแรงด้วยธาตุหายาก การปรับปรุงโครงสร้างผลึก และความเสถียรที่อุณหภูมิสูงของสแกนเดียม โดยทั่วไปจะผลิตโดยใช้กระบวนการต่างๆ เช่น การหลอมสุญญากาศ โลหะผง และการอัดขึ้นรูปด้วยแรงดันสูงแบบร้อน ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปมีโครงสร้างที่หนาแน่น องค์ประกอบที่สม่ำเสมอ และมีสิ่งเจือปนต่ำ ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสำหรับการเคลือบฟิล์มบางระดับสูง การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และแผงจอแสดงผล

ข้อได้เปรียบหลักของเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียม

l ความแข็งแรงสูงและน้ำหนักเบา

การเติมสแกนเดียมในโลหะผสมอะลูมิเนียม-สแกนเดียมช่วยยับยั้งการเติบโตของผลึกได้อย่างมาก ทำให้เกิดโครงสร้างผลึกละเอียดที่ช่วยเพิ่มความแข็งแรง ความเหนียว และความต้านทานความล้าของวัสดุ ในขณะเดียวกัน ความหนาแน่นต่ำของอะลูมิเนียมทำให้เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมมีความแข็งแรงและน้ำหนักเบา

l ความเสถียรทางความร้อนที่ดี

จุดหลอมเหลวสูงของสแกนเดียมให้ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงแก่โลหะผสม เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมมีความทนทานต่อปฏิกิริยาเคมีหรือการเสื่อมสภาพของประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง โดยยังคงคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่ดี

l การนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม

ฟิล์มโลหะผสมอะลูมิเนียม-สแกนเดียมมีความต้านทานต่ำ สร้างช่องทางการไหลของกระแสไฟฟ้าที่มีประสิทธิภาพในอุปกรณ์ แม้ว่าการนำไฟฟ้าจะต่ำกว่าอะลูมิเนียมบริสุทธิ์เล็กน้อย แต่ก็ยังคงมีคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่เหนือกว่า ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพความเที่ยงตรงสูงในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

l ความต้านทานการกัดกร่อนสูง

ความต้านทานการกัดกร่อนของโลหะผสมอะลูมิเนียม-สแกนเดียมเกิดจากชั้นออกไซด์ที่ก่อตัวขึ้นบนพื้นผิวของอะลูมิเนียมและความเสถียรทางเคมีสูงของสแกนเดียม สิ่งนี้ช่วยให้โลหะผสมมีประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนทางเคมี

คุณสมบัติเพียโซอิเล็กทริกที่ดี: เมื่อใช้เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมในการเตรียมฟิล์ม AlN ที่มีการเติม Sc คุณสมบัติเพียโซอิเล็กทริกจะดีขึ้นอย่างมาก ตัวอย่างเช่น การเติม Sc 35 at% ลงใน AlN สามารถเพิ่มประสิทธิภาพเพียโซอิเล็กทริก (Keff²) ได้ถึง 15.5% ซึ่งสูงกว่า AlN บริสุทธิ์ (Keff2 ของ 6%) ถึง 2.6 เท่า

พื้นที่การใช้งานหลักของเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียม

l อุตสาหกรรมการบินและอวกาศ

สามารถใช้ผลิตปีกเครื่องบิน ลำตัวเครื่องยนต์ ส่วนประกอบเครื่องยนต์ และอื่นๆ ได้อย่างมาก ช่วยลดน้ำหนักโดยรวมของเครื่องบิน และปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้เชื้อเพลิงและสมรรถนะการบิน ในโครงสร้างดาวเทียม ฟิล์มโลหะผสมอะลูมิเนียม-สแกนเดียมช่วยเพิ่มความต้านทานรังสีและการกัดกร่อนของดาวเทียมในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงของอวกาศ

l อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมถูกใช้ร่วมกับเทคโนโลยีต่างๆ เช่น แมกนีตรอนสปัตเตอริง เพื่อสร้างฟิล์มบางที่สม่ำเสมอและหนาแน่นบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ ฟิล์มเหล่านี้สามารถใช้ในการผลิตวงจรรวมและอุปกรณ์จัดเก็บข้อมูล ในอุปกรณ์สื่อสารด้วยแสงและโทรศัพท์มือถือ ฟิล์มที่เคลือบจากเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมถูกใช้ในส่วนประกอบสำคัญ เช่น RF ฟิลเตอร์ และตัวแยกแสง

l สาขาแสงและออปโตอิเล็กทรอนิกส์

เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมสามารถสร้างฟิล์มแสงที่มีการสะท้อนสูงและทนทานต่อการกัดกร่อนผ่านการสปัตเตอริง ใช้ในกระจกคุณภาพสูง ฟิลเตอร์ อุปกรณ์เลเซอร์ ฯลฯ ในการสื่อสารใยแก้วนำแสง ฟิล์มอะลูมิเนียม-สแกนเดียมถูกใช้เป็นวัสดุหุ้ม ช่วยเพิ่มความทนทานและความต้านทานความเสียหายของใยแก้วนำแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพ

l อุตสาหกรรมพลังงาน

ในเซลล์แสงอาทิตย์ ฟิล์มเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมสามารถใช้เป็นวัสดุอิเล็กโทรดเพื่อลดความต้านทานของฟิล์มและปรับปรุงการนำไฟฟ้าของอิเล็กโทรด จึงเพิ่มกำลังขับของเซลล์แสงอาทิตย์ ในแบตเตอรี่ไฟฟ้าเคมี ฟิล์มอะลูมิเนียม-สแกนเดียมช่วยเพิ่มความเสถียรของอิเล็กโทรดและความต้านทานการกัดกร่อน ยืดอายุการใช้งานของแบตเตอรี่

l สาขาการแพทย์

ฟิล์มที่สร้างจากเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมมีคุณสมบัติเข้ากันได้ทางชีวภาพและความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับพื้นผิวของอุปกรณ์ทางการแพทย์ เช่น อุปกรณ์ปลูกถ่ายกระดูกและขดลวดหลอดเลือดหัวใจ ช่วยเพิ่มความทนทานต่อการสึกหรอของอุปกรณ์ ยืดอายุการใช้งาน และลดความเสี่ยงของการผ่าตัดซ้ำ