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光学

2026-03-27

主なターゲット材料:Si, SiB, SiO₂, Nb, Nb₂Ox, Ti, TiOX, Al, Cr, Zr, Hf, Ta, Ge

蒸着用材料:MgF₂, Nb₂O₅, Al₂O₃, Ta₂O₅, HfO₂,Ti₃O₅, SiO₂/AI₂O₃, H4, YbF₃, SiO₂, TiO₂, ZrO₂

これらのターゲット材料は、高度な光学薄膜成膜に不可欠であり、さまざまな光学部品にわたって高い均一性、密度、安定性を提供します。光学反射防止コーティング、光通信コーティング、光学ガラスコーティングなどの特殊な用途で重要な役割を果たします。


1.光学反射防止コーティング

高純度スパッタリングターゲットを使用して成膜された薄膜は、表面反射を効果的に最小限に抑え、光透過率を最大化します。レンズ、カメラ、ディスプレイ、太陽光発電ガラスに広く応用されており、これらの材料は画質を大幅に向上させ、光学エネルギー利用を最適化します。

2.光通信コーティング

スパッタリングターゲットは、低損失で高安定性の膜を成膜するため、光ファイバー、導波路、フィルターなどの重要な光通信部品に最適です。これにより、信号伝送効率が向上し、システム信頼性が向上し、高速・大容量通信ネットワークの厳しい要求を満たします。

3.光学ガラスコーティング

スパッタリングターゲットは、光学ガラスへの高度な反射防止、傷防止、光学フィルターコーティングの成膜に利用されます。これらのコーティングは、ガラスのコア光学性能と耐久性を向上させるだけでなく、紫外線保護、反射低減、耐食性などの追加機能も提供し、研究、医療分野、民生用電子機器など、さまざまな用途に対応します。

主な役割

  • 光透過率と光学エネルギー利用率の向上。

  • 反射と光学損失の低減。

  • 膜の耐久性と安定性の向上。

  • 光学デバイスにさらなる機能性と革新的な性能を与える。