مواد هدف اصلی:Si، SiB، SiO₂، Nb، Nb₂اوهx، Ti، TiOX،ال، کر، زر، اچ اف، تا، جی

مواد تبخیر:MgF₂، Nb₂اوه₅ال₂اوه₃، تا₂اوه₅، HfO₂تو₃اوه₅، SiO₂..₂اوه₃H4، YbF₃، SiO₂، تو₂، ZrO₂

این مواد هدف برای رسوب پیشرفته فیلم نازک نوری ضروری هستند و یکسانی، تراکم و ثبات بالایی را در انواع اجزای نوری ارائه می دهند.آنها نقش مهمی در کاربردهای تخصصی دارند.از جمله پوشش های ضد انعکاس نوری، پوشش های ارتباطی نوری و پوشش های شیشه نوری.

1پوشش های ضد انعکاس نوری

فیلم های نازک که با استفاده از اهداف اسپوتری با پاکیزه بالا قرار می گیرند به طور موثر بازتاب سطح را به حداقل می رسانند و انتقال نور را به حداکثر می رسانند. به طور گسترده در لنز ها، دوربین ها، صفحه نمایش ها و شیشه های فتوولتائیک استفاده می شود.,این مواد به طور قابل توجهی کیفیت تصویر را بهبود می بخشند و استفاده از انرژی نوری را بهینه می کنند.

2پوشش های ارتباطی نوری

هدف های اسپترینگ فیلم هایی را با از دست دادن کم و ثبات بالا ذخیره می کنند، که آنها را برای اجزای ارتباطی نوری حیاتی مانند فیبر نوری، موج های هدایت شده و فیلترها ایده آل می کند.این باعث افزایش کارایی انتقال سیگنال و افزایش قابلیت اطمینان سیستم برای پاسخگویی به خواسته های سختگیرانه از سرعت بالا می شودشبکه های ارتباطی با ظرفیت بالا

3پوشش های شیشه ای نوری

اهداف اسپتر برای قرار دادن پوشش های پیشرفته ضد انعکاس، مقاوم در برابر خراش و فیلتر نوری بر روی شیشه نوری استفاده می شود.این پوشش ها نه تنها عملکرد نوری اصلی و دوام شیشه را افزایش می دهند بلکه قابلیت های اضافی مانند حفاظت از UV را نیز فراهم می کنند، بازتاب کاهش یافته و مقاومت در برابر خوردگی، در زمینه های مختلف تحقیقات، زمینه های پزشکی و الکترونیک مصرفی استفاده می شود.