シリコン・アルミターゲットは,特定の比率でシリコン (Si) とアルミ (Al) を混ぜることで作られた高純度合金ターゲットである. 溶融,鋳造,精密加工などのプロセスの後,高密度でシリコンの半導体特性とアルミニウムの優れた熱伝導性により,シリコン-アルミニウムの標的は強い粘着性のある薄膜を堆積することができます.均質な厚さ半導体チップ接続,電極層,光学コーティング,機能コーティング,および新エネルギー装置に広く使用されています.
高度な純度 (≥99.99%),化学的安定性,およびプロセス互換性により,太陽光発電,ディスプレイパネル,電子機器,エネルギー効率の良い建材ガラスシリコン・アルミニウムの標的は,製品の性能と信頼性を保証するだけでなく,効率的で正確な薄膜の準備にも役立ちます.
わかった 純粋なシリコンと純粋なアルミニウムの利点を組み合わせます
Si/Al比率を調節することで,特定のアプリケーション要件を満たすために材料の性質を正確に調整することができます.この性能調整能力は,さまざまな産業部門にカスタマイズされたソリューションを可能にします.
わかった 基板への粘着を増加させる
Si-Al 標的の光学特性 (反射性,吸収率など) は,Si 含有量によって制御できる.また,高硬さも誇る.光学装置や装飾用コーティングに最適.
シリコン・アルミニウムターゲットの主要用途
わかった 半導体製造
シリコン・アルミニウムターゲットは,金属の相互接続,電極層,バリア層をウエファーに堆積するために広く使用されています.シリコン・アルミ合金原子は,物理蒸気堆積 (PVD) 技術を用い,高伝導性と強い安定性を持つ薄膜を形成するために,ホイール表面に均一に堆積される.; 電子部品間の信頼性の高い高速な電気接続を確保し,高度なプロセス要件を満たす.
わかった 光学装置の製造
レンズ,フィルター,センサーに機能的なフィルムを 埋め込むのに不可欠です フィルム厚さを正確に調節することで 伝達,反射,光学的な透明性と耐久性を高めるためこの技術は望遠鏡,顕微鏡,光通信システムを含む高級アプリケーションで標準です.
わかった 機能性コーティングと装飾用フィルム
シリコン・アルミニウムターゲットは,建築ガラス,自動車ガラス,電子ガラス,家電器の外蓋,装飾パネルの表面に多機能の薄膜を堆積します.例えば反射フィルム導電性フィルム,耐磨性フィルム,または美学的な装飾性フィルム.これらのコーティングは,ガラスや金属表面の光学および電気的特性を強化します.機械的強度と耐腐蝕性を高めるエネルギー節約,環境保護,耐久性要件を満たしています.
わかった 新しい エネルギー 装置
太陽電池や太陽光発電のモジュールでは,シリコン・アルミニウムターゲットは伝導性または障壁層として使用されます.材料の化学的安定性と高純度により,高温で電池の信頼性の高い性能が保証されます高湿度で長期使用条件で