실리콘-알루미늄 타겟은 특정 비율로 실리콘 (Si) 과 알루미늄 (Al) 을 혼합하여 만들어진 고순도 합금 타겟입니다. 녹음, 주름 및 정밀 가공과 같은 프로세스 후에,밀도가 높은실리콘의 반도체 성질과 알루미늄의 우수한 열 전도성으로 실리콘 알루미늄 표적이 강한 접착력을 가진 얇은 필름을 퇴적 할 수 있습니다.균일 두께, 스프터링 또는 증발 과정에서 안정적인 층. 반도체 칩 상호 연결, 전극 층, 광학 코팅, 기능 코팅 및 새로운 에너지 장치에서 널리 사용됩니다.
높은 순수성 (≥99.99%), 화학적 안정성 및 프로세스 호환성으로 태양광 태양광, 디스플레이 패널, 전자 장치,에너지 효율적인 건물 유리실리콘 알루미늄 표적은 제품 성능과 신뢰성을 보장 할뿐만 아니라 효율적이고 정확한 얇은 필름 준비에도 도움이됩니다.
난 순수한 실리콘과 순수한 알루미늄의 장점을 결합합니다.
Si/Al 비율을 조절함으로써 재료의 특성은 특정 응용 요구 사항을 충족시키기 위해 정확하게 조정 될 수 있습니다.이 성능 조정 가능성은 다양한 산업 부문에서 맞춤형 솔루션을 허용합니다..
난 기판에 붙는 것을 증가시킵니다.
시-알 표적의 광적 특성 (예: 반사력, 흡수율) 은 시 함량에 의해 제어 될 수 있습니다. 또한 높은 경직성을 자랑합니다.광학 장치 및 장식 코팅에 적합합니다..
실리콘 알루미늄 표적의 주요 응용
난 반도체 제조
실리콘-알루미늄 표적은 금속 상호 연결, 전극 층 및 웨이퍼에 장벽 층을 저장하는 데 널리 사용됩니다. 칩 제조에서실리콘-알루미늄 합금 원자는 물리 증기 퇴적 (PVD) 기술을 사용하여 고 전도성과 강한 안정성을 가진 얇은 필름을 형성하여 웨이퍼 표면에 균일하게 퇴적됩니다.· 전자 부품 간의 신뢰성 있고 고속 전기 연결을 보장하고 첨단 프로세스 요구 사항을 충족합니다.
난 광학 기기 제조
실리콘 알루미늄 표적이 렌즈, 필터, 센서에 기능적인 필름을 저장하는 데 필수적입니다. 정확하게 필름 두께를 조절하면 전송, 반사성,광학 선명성 및 내구성을 향상시키기 위해 흡수이 기술은 망원경, 현미경 및 광통신 시스템을 포함한 고급 애플리케이션에서 표준입니다.
난 기능성 코팅 및 장식용 필름
실리콘 알루미늄 표적이 건축 유리, 자동차 유리, 전자 유리, 가전 가구 가구 및 장식판의 표면에 다기능 얇은 필름을 부착합니다.반사 방지 필름과 같이이 코팅은 유리 및 금속 표면의 광학 및 전기적 특성을 향상시킵니다.기계적 강도 및 부식 저항성을 높입니다., 에너지 절약, 환경 보호 및 내구성 요구 사항을 충족합니다.
난 새로운 에너지 장치
태양전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지전지물질의 화학적 안정성과 높은 순수성은 고온에서 셀의 신뢰성 높은 성능을 보장합니다., 높은 습도, 장기 사용 조건.