고순도 TiAl 금속 스퍼터링 타겟 티타늄 알루미늄 타겟

티타늄-알루미늄 타겟은 고순도 알루미늄과 티타늄 합금으로 제작되어 알루미늄의 가벼운 무게와 높은 반사율, 티타늄의 높은 강도와 내식성을 결합합니다. 물리 증착(PVD), 스퍼터링 코팅 및 증착 공정에 적합하며 균일하고 조밀한 박막을 형성합니다. 광학, 전자 및 기능성 재료 분야에서 널리 사용됩니다.

티타늄-알루미늄 타겟의 핵심 장점

 l 고순도 및 고밀도

상대 밀도는 특정 합금 조성에 따라 달라지지만(예: Ti33Al67의 경우 밀도 ≥3.29g/cm³, Ti50Al50의 경우 밀도 ≥3.60g/cm³), 최소 99.8%의 순도를 유지합니다. 높은 순도와 밀도는 코팅 품질을 보장하고 타겟의 수명을 연장하는 데 도움이 됩니다.

 l 우수한 기계적 특성

티타늄-알루미늄 합금 타겟은 높은 강도와 내식성을 모두 갖추고 있습니다. 독특한 결정 구조 덕분에 고온 환경에서도 안정적인 물리적 특성을 유지하며, 높은 경도와 내마모성을 자랑합니다. 예를 들어, 이 타겟으로 제조된 TiAlN 코팅은 재료의 절삭 속도와 절삭 성능을 향상시킬 수 있습니다.

 l 뛰어난 화학적 안정성

TiAl 합금 타겟은 산화 방지 특성을 가지고 있어 반도체 제조 공정에서 고순도 가스 및 플라즈마 환경과 장기간 접촉해도 안정성을 유지합니다. 이는 수명을 효과적으로 연장하며, 낮은 불순물 함량은 코팅층의 균일성과 전도성을 보장합니다.

 l 높은 스퍼터링 효율

티타늄-알루미늄 합금 타겟의 결정 구조는 스퍼터링 효율을 향상시키고 생산 중 에너지 소비를 크게 줄입니다. 진공 아크 용해 또는 분말 야금과 같은 정밀 용해 및 성형 기술은 티타늄과 알루미늄 원자의 균일한 분포를 보장하여 조성 분리를 방지하고 스퍼터링 중 응력 집중으로 인한 타겟 균열을 방지합니다.

알루미늄-티타늄 타겟의 주요 응용 분야

l  반도체 제조

박막 증착에 사용되어 전도성 층, 차단 층 또는 금속 상호 연결 층을 형성합니다. 낮은 비저항과 높은 접착력은 회로 성능을 크게 향상시키며, 고순도 가스 및 플라즈마 환경과의 장기간 접촉에서도 안정성을 유지하여 마이크로 전자 장치의 신뢰성을 보장합니다.

 l 평판 디스플레이

평판 디스플레이의 박막 트랜지스터(TFT), 전극 및 기타 부품 코팅에 사용됩니다. 코팅의 두께와 조성을 정밀하게 제어하여 디스플레이 해상도, 색상 포화도 및 응답 속도를 향상시키는 동시에 전력 소비를 줄입니다.

 l 기계 가공 및 공구 제조

알루미늄-티타늄 합금 타겟은 우수한 인성과 내산화성을 결합한 TiAlN 코팅을 제조하는 데 사용될 수 있습니다. 이는 드릴 비트, 공구, 인서트 및 기타 기계 공구의 절삭 속도와 성능을 크게 향상시켜 공구 수명을 연장합니다.

 l 항공 우주

합성된 TiAlN 코팅은 엔진 부품 및 동체 구조 부품의 고온 저항성, 내식성 및 내마모성을 향상시켜 극한 환경에서 항공기의 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다. 예를 들어, 감마 티타늄-알루미늄은 787 및 747-8 항공기의 저압 터빈 블레이드 제조에 사용되었습니다.

 l 자동차 산업

신에너지 차량 및 고급 가솔린 자동차의 정밀도와 내구성에 대한 수요가 증가함에 따라 티타늄-알루미늄 합금 타겟 코팅은 엔진 밸브 및 변속기 기어와 같은 주요 부품에 널리 사용되어 부품 수명을 연장하고 전반적인 차량 성능을 향상시킵니다.

 l 광학 장치

TiAl 코팅은 렌즈의 광 투과율, 내마모성 및 반사 방지 특성을 최적화하여 광학 장치의 이미징 품질을 향상시킵니다. 또한 LIDAR와 같은 고급 장비의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 고반사 거울 코팅을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.

 l 의료 기기

티타늄-알루미늄 합금의 생체 적합성과 낮은 독성은 정형외과 임플란트, 치과 임플란트 등의 제조에 적합하여 의료 기기 분야에서 중요한 역할을 합니다.