Hochreine TiAl-Metallsputtertargets Titan-Aluminium-Target

Das Titan-Aluminium-Ziel besteht aus einer hochreinen Aluminium- und Titanlegierung.mit einem Gehalt an Kohlenwasserstoffen von mehr als 10 GHTEs eignet sich für physikalische Dampfdeposition (PVD), Sputtering-Beschichtung und Dampfdeposition, wobei gleichförmige und dichte dünne Folien gebildet werden.und Funktionsmaterialienfelder.

Hauptvorteile des Titanium-Aluminium-Ziels

 Ich... Hohe Reinheit und Dichte

Es unterhält einen Mindestreinigungsschwellenwert von 99,8%, wobei die relative Dichte in Abhängigkeit von der spezifischen Legierungszusammensetzung schwankt, z. B. Ti33Al67 mit einer Dichte ≥ 3.29 g/cm3 und Ti50Al50 mit einer Dichte ≥ 3.60 g/cm3 hohe Reinheit und Dichte helfen, die Beschichtungsqualität zu gewährleisten und die Lebensdauer des Ziels zu verlängern.

 Ich... Gute mechanische Eigenschaften

Titanium-Aluminium-Legierungsziele haben sowohl hohe Festigkeit als auch Korrosionsbeständigkeit.mit hoher Härte und VerschleißfestigkeitDie von ihnen hergestellten TiAlN-Beschichtungen können beispielsweise die Schneidgeschwindigkeit und die Schneidleistung von Materialien verbessern.

 Ich... Ausgezeichnete chemische Stabilität

TiAl-Legierungsziele haben Antioxidations-Eigenschaften, die es ihnen ermöglichen, bei der Halbleiterherstellung langfristigen Kontakt mit hochreinen Gasen und Plasmaumgebungen aufrechtzuerhalten.Das verlängert ihre Lebensdauer., und ihr geringer Verunreinigungsgehalt sorgt für Gleichmäßigkeit und Leitfähigkeit der Beschichtungsschicht.

 Ich... Hohe Sputtereffizienz

Die Kristallstruktur von Titan-Aluminium-Legierungsziele erhöht die Sputtereffizienz und reduziert den Energieverbrauch während der Produktion erheblich.Z.B. Vakuumbogenschmelze oder Pulvermetallurgie, um eine gleichmäßige Verteilung der Titan- und Aluminiumatome zu gewährleisten, um eine Trennung der Zusammensetzung zu verhindern und um sicherzustellen, dass das Ziel während des Sputterns nicht durch Spannungskonzentration knackt.

Hauptanwendungsbereiche von Aluminium-Titanium-Ziel

Ich... Herstellung von Halbleitern

Es kann für dünne Folienablagerungen verwendet werden, um leitfähige Schichten, Barriere- oder Metallverbindungsschichten zu bilden.Seine geringe Widerstandsfähigkeit und hohe Haftungseigenschaften verbessern die Leistung des Stromkreises erheblich, und bleibt bei langfristigem Kontakt mit hochreinen Gasen und Plasmaumgebungen stabil, wodurch die Zuverlässigkeit von mikroelektronischen Geräten gewährleistet wird.

 Ich... Flachbildschirme

Wird für die Beschichtung von Dünnschichttransistoren (TFT), Elektroden und anderen Komponenten in Flachbildschirmen verwendet.es verbessert die Bildschirm-Auflösung, Farbsättigung und Reaktionsgeschwindigkeit bei gleichzeitiger Verringerung des Stromverbrauchs.

 Ich... Maschinen- und Werkzeugbau

Bei der Herstellung von TiAlN-Beschichtungen können Aluminium-Titan-Legierungsziele verwendet werden, die eine ausgezeichnete Zähigkeit und Oxidationsbeständigkeit kombinieren.Dies verbessert deutlich die Schneidgeschwindigkeit und Leistung der Bohrer, Werkzeuge, Einsätze und andere Maschinenwerkzeuge, die die Lebensdauer der Werkzeuge verlängern.

 Ich... Luft- und Raumfahrt

Die synthetisierten TiAlN-Beschichtungen verbessern die Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Verschleißbeständigkeit von Motorteilen und Strukturbauteilen des Rumpfes.Sicherstellung des sicheren und stabilen Betriebs von Luftfahrzeugen in extremen UmgebungenZum Beispiel wurde Gamma-Titanium-Aluminium zur Herstellung von Niederdruckturbinenblättern für die 787 und 747-8 verwendet.

 Ich... Automobilindustrie

Mit der steigenden Nachfrage nach Präzision und Langlebigkeit in neuen Energiefahrzeugen und High-End-Benzinfahrzeugen,Titanium-Aluminium-Legierung Zielbeschichtungen werden in Schlüsselkomponenten wie Motorenventilen und Getriebe weit verbreitet, wodurch die Lebensdauer der Komponenten verlängert und die Gesamtleistung des Fahrzeugs verbessert wird.

 Ich... Optische Geräte

Die TiAl-Beschichtungen optimieren die Lichtdurchlässigkeit, Verschleißbeständigkeit und Anti-Reflexionseigenschaften von Linsen und verbessern die Bildqualität optischer Geräte.Sie können auch zur Herstellung von Spiegelbeschichtungen mit hoher Reflektivität verwendet werden, um den strengen Anforderungen von fortschrittlichen Geräten wie LIDAR gerecht zu werden.

 Ich... Medizinische Geräte

Spielt eine wichtige Rolle auf dem Gebiet der medizinischen Geräte, da die Biokompatibilität und die geringe Toxizität von Titan-Aluminium-Legierungen sie für die Herstellung orthopädischer Implantate geeignet machen,Zahnimplantate, und mehr.