Цель для распыливания карбида кремния SiC Высокотемпературная коррозионная устойчивость

Цели карбида кремния (SiC) изготавливаются из высокочистых порошков, предлагающих отличную устойчивость к высоким температурам и коррозии.наряду с высокой химической стабильностью и теплопроводностьюЭти свойства делают их особенно подходящими для отложения высокопроизводительных тонких пленок в суровых условиях эксплуатации.фотоэлектрические, и оптической промышленности.

Ключевые преимущества целей из карбида кремния

Я... Высокая чистота, более чистые пленки

В целях карбида кремния используются высокочистые сырьевые материалы SiC с содержанием металлических примесей ниже 100 ppm.с стабильными электрическими и оптическими свойствами, что делает их подходящими для высококлассных электронных устройств.

Я... Сверхвысокая твердость и износостойкость

Цель устойчива к очистке и трещинам при высокопроизводительных условиях распыливания, увеличивая срок службы цели более чем на 30% по сравнению с обычными керамическими целями.Это уменьшает загрязнение частицами и улучшает урожайность производства.

Я... Отличная теплопроводность и устойчивость к тепловым ударам

Цель устойчива к трещинам, вызванным тепловым ударом, что делает ее подходящей для длительного непрерывного осаждения.

Я... Плотное и однородное строение, постоянное качество пленки

Цели карбида кремния отличаются высокой плотностью и равномерным распределением частиц, что позволяет иметь высокие показатели осаждения и отличную однородность толщины пленки.Устойчивое качество может быть сохранено даже для крупных целей.

 Основные области применения целей карбида кремния

Я... Производство полупроводников

Используется для отложения тонкой пленки в силовых устройствах, радиочастотных устройствах и датчиках MEMS. Плотность и высокая изоляция пленки образуются с помощью магниторонного распыливания и связанных процессов,улучшение напряжения отключения устройстваУстойчивость к температуре и стабильность.

Я... Панели отображения

Цели из карбида кремния (SiC) используются в качестве прочных твердых защитных слоев или буферных слоев в современных дисплеях, включая LCD, OLED, Micro-LED и гибкие технологии.Эти слои повышают устойчивость к царапинам и химическую стабильность, обеспечивая при этом важнейшую оптическую передачу и поддерживая чувствительность при ощущении.

Я... Фотоэлектрическая промышленность

SiC используется в качестве антиотражательного слоя, защитной пленки или буферного слоя как в кристаллическом кремнии, так и в тонкопленочных солнечных батареях.значительно уменьшить потери отражения, и повысить долгосрочную стабильность и общую долговечность изделий.

Я... Производство оптических устройств

SiC используется для покрытия линз, фильтров, призмов и других оптических компонентов.или функций высокого отражения, подходящий для лазерной оптики и аэрокосмических применений.

Я... Декоративные покрытия

Формирует высокопрочные, износостойкие покрытия на поверхности мобильных телефонов, часов, автомобильных интерьеров и деталей высокой точности.Это приложение обеспечивает привлекательный металлический внешний вид при продлении срока службы продукта.