Высокочистая однородная по плотности мишень для напыления из оксида алюминия Al2O3

Мишени из оксида алюминия изготавливаются из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) и обычно используются в процессах нанесения тонких пленок. Они широко применяются в вакуумном напылении, технологии распыления и других методах нанесения тонких пленок. Свойства мишеней из оксида алюминия включают высокую температуру плавления, отличную химическую стабильность и хорошую теплопроводность, что в совокупности обеспечивает стабильную работу в требовательных условиях вакуумного напыления и распыления. 

Отличные характеристики мишени из оксида алюминия (Al₂O₃)

 Высокая плотность

Благодаря применению технологии горячего прессования плотность мишени увеличивается до 90–95%, что значительно повышает прочность и стабильность материала.

 Высокая чистота

Специально отобранный сырьевой порошок с чрезвычайно низким уровнем примесей, обеспечивающий чистоту ≥99,99%.

 Высокая однородность

Многократная калибровка параметров спекания обеспечивает равномерный контроль температуры и высокую консистенцию материала.

 Широкое применение мишени из оксида алюминия (Al₂O₃)

 Производство полупроводников

Мишени из оксида алюминия широко используются в процессах производства полупроводников, особенно в интегральных схемах и технологии КМОП. Они используются в качестве изоляционных слоев, высокодиэлектрических пленок и масок для ионной имплантации, обеспечивая превосходную электрическую изоляцию и термическую стабильность. Пленки Al₂O₃ могут повышать напряжение пробоя и диэлектрическую прочность устройств, что делает их широко используемыми в корпусировании на уровне кристалла и тонкопленочных конденсаторах.

 Производство оптических компонентов

Благодаря своей высокой прозрачности, исключительной твердости и отличной химической стабильности пленки оксида алюминия Al₂O₃ идеально подходят для передовых функциональных оптических покрытий. Применение включает просветляющие покрытия (пленки AR), инфракрасные фильтры и оптические защитные слои. Эти покрытия гарантируют, что оптические системы сохраняют пиковую производительность в сложных условиях, одновременно эффективно повышая стойкость к истиранию и коррозии критически важных оптических компонентов.lПрименение в новой энергетикеУльтратонкие пленки оксида алюминия Al₂O₃ играют важную и универсальную роль в энергетических приложениях. В литий-ионных батареях пленка служит защитным покрытием. Для кристаллических кремниевых фотоэлектрических элементов она функционирует как высокоэффективный слой пассивации поверхности. В перовскитных фотоэлектрических элементах Al₂O₃ действует как слой переноса электронов или барьерный слой для значительного повышения общей производительности устройства.l

 Пленки, полученные из мишеней из оксида алюминия, обладают высокой твердостью и прочным сцеплением, что делает их идеальными для светопропускающих изоляционных и конструкционных слоев. Они используются для таких применений, как противоцарапные покрытия для экранов дисплеев, защитные пленки для прецизионных приборов и поверхностная закалка промышленных форм. Эти покрытия не только повышают износостойкость, но и продлевают срок службы оборудования и снижают затраты на техническое обслуживание.