Risistenza alla corrosione ad alte temperature

I bersagli in carburo di silicio (SiC) sono realizzati con polveri ad alta purezza, offrendo un'eccellente resistenza alle alte temperature e alla corrosione, oltre a una stabilità chimica e una conducibilità termica superiori. Queste proprietà li rendono particolarmente adatti per la deposizione di film sottili ad alte prestazioni in condizioni operative difficili. Sono materiali funzionali vitali ampiamente utilizzati nei settori dei semiconduttori, fotovoltaico e ottico.

Principali vantaggi dei bersagli in carburo di silicio

l Alta purezza, film più puliti

I bersagli in carburo di silicio utilizzano materie prime SiC ad alta purezza con un contenuto di impurità metalliche inferiore a 100 ppm. I film depositati presentano meno difetti e contaminazioni, con proprietà elettriche e ottiche stabili, rendendoli adatti per dispositivi elettronici di fascia alta.

l Durezza e resistenza all'usura ultra-elevate

Il bersaglio è resistente a peeling e cracking in condizioni di sputtering ad alta potenza, estendendo la durata del bersaglio di oltre il 30% rispetto ai bersagli ceramici convenzionali. Ciò riduce la contaminazione da particelle e migliora la resa di produzione.

l Eccellente conducibilità termica e resistenza agli shock termici

Consente una rapida dissipazione del calore e permette uno sputtering a densità di potenza più elevata. Il bersaglio è resistente al cracking causato da shock termici, rendendolo adatto per deposizioni continue a lungo termine.

l Struttura densa e uniforme, qualità del film costante

I bersagli in carburo di silicio presentano un'alta densità e una distribuzione uniforme delle particelle, consentendo elevate velocità di deposizione e un'eccellente uniformità dello spessore del film. La qualità stabile può essere mantenuta anche per bersagli di grandi dimensioni.

 Principali aree di applicazione dei bersagli in carburo di silicio

l  Produzione di semiconduttori

Utilizzato per la deposizione di film sottili in dispositivi di potenza, dispositivi RF e sensori MEMS. Film densi e altamente isolanti vengono formati tramite sputtering magnetronico e processi correlati, migliorando la tensione di breakdown del dispositivo, la resistenza alla temperatura e la stabilità.

l Pannelli di visualizzazione

I bersagli in carburo di silicio (SiC) sono utilizzati come robusti strati protettivi duri o strati tampone nei display moderni, inclusi LCD, OLED, Micro-LED e tecnologie flessibili. Questi strati migliorano la resistenza ai graffi e la stabilità chimica, garantendo al contempo una cruciale trasmittanza ottica e mantenendo la sensibilità al tocco.

l Industria fotovoltaica

Il SiC viene utilizzato come strati antiriflesso, film protettivi o strati tampone sia nelle celle solari al silicio cristallino che in quelle a film sottile. Queste applicazioni migliorano l'efficienza di assorbimento della luce, riducono significativamente le perdite per riflessione e migliorano la stabilità a lungo termine e la durabilità complessiva dei dispositivi.

l Produzione di dispositivi ottici

Il SiC viene utilizzato per il rivestimento di lenti, filtri, prismi e altri componenti ottici. L'indice di rifrazione e la trasmittanza del film possono essere controllati per ottenere funzioni antiriflesso, di filtraggio o ad alta riflessione, adatti per ottiche laser e applicazioni aerospaziali.

l Rivestimenti decorativi

Forma rivestimenti ad alta durezza e resistenza all'usura sulle superfici di telefoni cellulari, orologi, interni automobilistici e componenti di precisione. Questa applicazione fornisce un attraente aspetto metallico, prolungando al contempo la vita utile del prodotto.