고순도 밀도 균일성 Al2O3 산화알루미늄 스퍼터링 타겟

알루미늄 산화물 타겟은 고순도 알루미늄 산화물 (Al2O3) 으로 만들어지며 얇은 필름 퇴적 공정에서 일반적으로 사용됩니다. 그들은 진공 코팅, 스프터링 기술,그리고 다른 얇은 필름 퇴적 기술알루미늄 산화물 표적의 특성은 높은 녹는점, 우수한 화학적 안정성 및 좋은 열전도,합동으로 요구되는 진공 코팅 및 스프터링 환경에서 안정적인 작동을 보장합니다..

알루미늄 산화물 표적 (Al2O3) 의 우수한 특성

난 높은 밀도

고온 압축 기술을 적용하면 표적의 밀도가 90%~95%까지 증가하여 재료의 강도와 안정성을 크게 향상시킵니다.

난 높은 순수성

특히 선택된 원료가 99,99%의 순도를 보장하는 극히 낮은 불순물 수준입니다.

난 높은 균일성

시너지 매개 변수들의 반복적인 캘리브레이션은 균일한 온도 조절과 높은 재료 일관성을 보장합니다.

 알루미늄 산화물 표적 (Al2O3) 의 광범위한 응용

난 반도체 제조

알루미늄 산화물 타겟은 반도체 제조 공정, 특히 통합 회로 및 CMOS 기술에서 널리 사용됩니다. 그들은 단열 층, 고-k 다이 일렉트릭 필름,그리고 이온 이식 마스크, 우수한 전기 단열 및 열 안정성을 제공합니다. Al2O3 필름은 장치의 분해 전압과 다이 일렉트릭 강도를 향상시킬 수 있습니다.웨이퍼 레벨 포장 및 얇은 필름 콘덴시터에 널리 사용됩니다..

난 광 부품 제조

알루미늄 산화 알루미늄은 높은 투명성, 탁월한 경화성, 그리고 뛰어난 화학적 안정성 때문에2오3필름은 첨단 기능성 광학 코팅에 이상적입니다. 응용 분야는 반사 방지 코팅 (AR 필름), 적외선 필터 및 광학 보호 층을 포함합니다.이러한 코팅은 광학 시스템이 복잡한 환경에서 최고 성능을 유지하면서 중요한 광학 구성 요소의 마모 및 부식 저항을 효과적으로 향상시키는 것을 보장합니다..

난 새로운 에너지 사용법

극 얇은 알루미늄 산화물 Al2O3 필름은 에너지 애플리케이션에서 중요하고 다재다능한 역할을 합니다. 리?? 이온 배터리에서는 필름이 보호 코팅 층으로 작용 합니다.결정적 실리콘 태양 전지 전지, 그것은 매우 효과적인 표면 비활성화 층으로 기능합니다.Al2O3는 전자 운송 층 또는 장벽 층으로 작용하여 전체 장치 성능을 크게 향상시킵니다..

난 표시 패널

알루미늄 산화물 타겟으로 생산 된 필름은 높은 경화와 강한 접착력을 가지고 있으며, 이를 통해 빛 전달 단열 및 구조 층에 이상적입니다.그들은 디스플레이 스크린에 대한 스크래치 방지 코팅과 같은 응용 프로그램에 사용됩니다., 정밀 도구에 대한 보호 필름, 산업 폼에 대한 표면 경화 처리.이러한 코팅은 마모 저항성을 향상시킬 뿐만 아니라 장비의 사용 수명을 연장하고 유지 보수 비용을 줄입니다..