WTi วอล์ฟสเทนไทเทเนียมเป้าหมายสัดส่วน 90:10 ขนาดที่สามารถปรับแต่งได้

เป้าทังสเตนไทเทเนียมเป็นเป้าโลหะผสมประสิทธิภาพสูงที่ทำจากทังสเตน (W) และไทเทเนียม (Ti) ซึ่งรวมเอาจุดหลอมเหลวสูง ทนความร้อนสูง และทนต่อการสึกหรอของทังสเตนเข้ากับน้ำหนักเบา ทนต่อการกัดกร่อน และการยึดเกาะที่ดีของไทเทเนียม สามารถสร้างฟิล์มบางที่สม่ำเสมอและหนาแน่นได้ด้วยเทคนิคการเคลือบผิวแบบฟิสิคัลเวเปอร์ดิโพซิชัน (PVD) เช่น สปัตเตอริงและการระเหย เป้าทังสเตนไทเทเนียมมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์แสง และการเคลือบผิวเพื่อการตกแต่ง ทำให้เป็นตัวเลือกที่สำคัญสำหรับการผลิตฟิล์มบางประสิทธิภาพสูง

ข้อดีหลักของเป้าทังสเตนไทเทเนียม

l ความหนาแน่นและความสม่ำเสมอสูง

ฟิล์มบางที่เคลือบมีความสม่ำเสมอ มีพื้นผิวเรียบและการยึดเกาะที่แข็งแรง ป้องกันการแตกร้าวหรือลอกของฟิล์มได้อย่างมีประสิทธิภาพ

l ทนความร้อนและการกัดกร่อนสูง

ทังสเตนให้ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงและความทนทานต่อการสึกหรอที่ดีเยี่ยม ในขณะที่ไทเทเนียมให้ความทนทานต่อการเกิดออกซิเดชันและการกัดกร่อน ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีอุณหภูมิสูงหรือสภาพแวดล้อมที่รุนแรงต่างๆ

l คุณสมบัติทางกลที่ยอดเยี่ยม

ฟิล์มบางมีความแข็งสูง ทนทานต่อการสึกหรอและรอยขีดข่วน ช่วยเพิ่มความทนทานและอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

การใช้งานหลักของเป้าทังสเตนไทเทเนียม

l การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ใช้สำหรับชั้นเชื่อมต่อ การเคลือบโลหะของรูสัมผัส และการเคลือบฟิล์มป้องกันในวงจรรวม ให้การนำไฟฟ้าสูง ความเสถียร และความทนทานต่ออุณหภูมิสูง เพื่อให้มั่นใจในการทำงานที่เชื่อถือได้ในระยะยาวของส่วนประกอบภายในชิป

l อุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ใช้ในอุปกรณ์ MEMS อิเล็กโทรด เซ็นเซอร์ และส่วนประกอบไมโครอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ ช่วยเพิ่มการนำไฟฟ้า ความทนทานต่อการสึกหรอ และความเสถียรในระยะยาว เพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

l การผลิตอุปกรณ์แสง

ใช้ในเลนส์ ออปติคัล ฟิลเตอร์ และอุปกรณ์เลเซอร์เพื่อควบคุมอัตราการส่งผ่านและการสะท้อนผ่านการเคลือบผิว ในขณะเดียวกันก็ช่วยเพิ่มความทนทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อนขององค์ประกอบทางแสง เหมาะสำหรับเครื่องมือวัดทางแสงที่มีความแม่นยำและระบบเลเซอร์

l การเคลือบผิวเพื่อการตกแต่งและการใช้งานเชิงฟังก์ชัน

ใช้เพื่อสร้างฟิล์มบางที่มีความเงางามสูง ทนทานต่อการสึกหรอ และทนทานต่อการกัดกร่อนบนพื้นผิวของเคสอิเล็กทรอนิกส์ ผลิตภัณฑ์โลหะ และเครื่องใช้ในครัวเรือนระดับไฮเอนด์ ผสมผสานความสวยงามเข้ากับการป้องกันเชิงฟังก์ชัน ยืดอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์