タングステンチタンゴールは,高性能合金で,タングステン (W) とチタン (Ti) から作られ,タングステンの高溶融点,高温耐性,耐磨性があり,タイタンの軽量で耐腐蝕性,粘着性も良好. 発泡や蒸発などの物理蒸気堆積 (PVD) 技術によって均質で密度の高い薄膜を形成することができる.半導体に広く使用されている.高性能薄膜の製造にとって重要な選択肢となっています.
わかった 高密度 と 均一性
薄膜は均質で,表面が滑らかで粘着力が強いため,薄膜の裂け目や剥離を効果的に防止する.
わかった 高温 と 腐食 に 耐える
タングスタムは高温の安定性と耐磨性を優れているが,チタンは酸化と耐腐蝕性がある.異なる高温または厳しいプロセス環境に適している.
わかった 優れた 機械 特性
薄膜は高硬度で耐磨性があり 摩擦性があり 最終製品の耐久性と寿命を向上させます
トルンプトンチタンターゲットの主要用途
わかった 半導体製造
相互接続層,接触孔金属化,統合回路の保護フィルム堆積に使用され,高伝導性,安定性,高温耐性を有します.チップ内の内部部品の長期的信頼性の高い動作を確保する.
わかった マイクロ電子機器
MEMSデバイス,電極,センサー,その他のマイクロ電子部品で使用され,導電性,耐磨性,長期安定性を向上させ,デバイスの性能と信頼性を向上させる.
わかった 光学装置の製造
光学レンズ,フィルター,レーザー装置で使用され,光学要素の耐磨性および耐腐蝕性を向上させながら,コーティングを通して伝達率と反射率を制御する.精密光学機器やレーザーシステムに適している.
わかった 装飾用および機能用コーティング
電子キャッシュ,金属製品,高級家電の表面に高光,耐磨,耐腐蝕の薄膜を形成するために使用されます.機能的保護と美学的な魅力を組み合わせる製品の使用期間を延長します.