เป้าหมายสปัตเตอร์อลูมิเนียม Scandium (เป้าหมาย AlSc สปัตเตอร์)

เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมเป็นเป้าโลหะผสมประสิทธิภาพสูงที่ผลิตจากโลหะอะลูมิเนียมและสแกนเดียมในอัตราส่วนที่เฉพาะเจาะจง ผสมผสานน้ำหนักเบาและการนำไฟฟ้าและความร้อนที่ดีเยี่ยมของอะลูมิเนียมเข้ากับประโยชน์ในการเสริมความแข็งแรง การปรับปรุงโครงสร้างผลึก และความเสถียรทางความร้อนของการเติมสแกนเดียม โดยทั่วไปจะผลิตโดยใช้กระบวนการต่างๆ เช่น การหลอมสุญญากาศ โลหะผง และการอัดขึ้นรูปด้วยแรงดันสูง ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปมีโครงสร้างที่หนาแน่น องค์ประกอบที่สม่ำเสมอ และมีสิ่งเจือปนต่ำ ทำให้เหมาะสำหรับการเคลือบฟิล์มบางขั้นสูง การแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตแผงจอภาพ

ข้อได้เปรียบหลักของเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียม

 ความแข็งแรงสูงและน้ำหนักเบา

การเติมสแกนเดียมสามารถยับยั้งการเติบโตของผลึกในโลหะผสมที่อุดมด้วยอะลูมิเนียม ทำให้เกิดโครงสร้างผลึกละเอียดที่ช่วยเพิ่มความแข็งแรง ความเหนียว และความต้านทานความล้า ในขณะเดียวกัน ความหนาแน่นต่ำของอะลูมิเนียมก็มีส่วนช่วยให้วัสดุน้ำหนักเบา คุณสมบัติเหล่านี้ขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของโลหะผสมและกระบวนการผลิต

 ความเสถียรทางความร้อนที่ดี

จุดหลอมเหลวสูงของสแกนเดียมให้ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงแก่โลหะผสม เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมมีความทนทานต่อปฏิกิริยาเคมีหรือการเสื่อมสภาพของประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง โดยยังคงคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่ดีการนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม

 l

ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง

 คุณสมบัติเพียโซอิเล็กทริกที่ดี: เมื่อใช้เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมเพื่อเตรียมฟิล์ม Sc-doped AlN คุณสมบัติเพียโซอิเล็กทริกจะดีขึ้นอย่างมาก ตัวอย่างเช่น การเติม Sc 35 at% ลงใน AlN สามารถเพิ่มประสิทธิภาพเพียโซอิเล็กทริก (Keff²) ได้ถึง 15.5% ซึ่งสูงกว่า AlN บริสุทธิ์ (Keff² ของ 6%) ถึง 2.6 เท่า

พื้นที่การใช้งานหลักของเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียม

lสามารถใช้ผลิตปีกเครื่องบิน ลำตัว ส่วนประกอบเครื่องยนต์ และอื่นๆ ได้อย่างมาก ช่วยลดน้ำหนักโดยรวมของเครื่องบิน และปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้เชื้อเพลิงและประสิทธิภาพการบิน ในโครงสร้างดาวเทียม ฟิล์มโลหะผสมอะลูมิเนียม-สแกนเดียมช่วยเพิ่มความต้านทานรังสีและการกัดกร่อนของดาวเทียมในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงของอวกาศ

l

 ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมถูกใช้ร่วมกับเทคโนโลยีต่างๆ เช่น แมกนีตรอนสปัตเตอริง เพื่อสร้างฟิล์มบางที่สม่ำเสมอและหนาแน่นบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ ฟิล์มเหล่านี้สามารถใช้ในการผลิตวงจรรวมและอุปกรณ์จัดเก็บข้อมูล ในอุปกรณ์สื่อสารด้วยแสงและโทรศัพท์มือถือ ฟิล์มที่เคลือบจากเป้าอะลูมิเนียม-สแกนเดียมถูกใช้ในส่วนประกอบสำคัญ เช่น ตัวกรอง RF และตัวแยกแสง

l

 เป้าอะลูมิเนียม-สแกนเดียมสามารถสร้างฟิล์มแสงที่มีการสะท้อนสูงและทนทานต่อการกัดกร่อนผ่านการสปัตเตอริง ใช้ในกระจกคุณภาพสูง ตัวกรอง อุปกรณ์เลเซอร์ ฯลฯ ในการสื่อสารใยแก้วนำแสง ฟิล์มอะลูมิเนียม-สแกนเดียมใช้เป็นวัสดุหุ้ม ช่วยเพิ่มความทนทานและความต้านทานความเสียหายของใยแก้วนำแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพ

lในเซลล์แสงอาทิตย์ ฟิล์มเป้าอะลูมิเนียม-สแกนเดียมสามารถใช้เป็นวัสดุอิเล็กโทรดเพื่อลดความต้านทานของฟิล์มและปรับปรุงการนำไฟฟ้าของอิเล็กโทรด จึงเพิ่มผลผลิตพลังงานของเซลล์แสงอาทิตย์ ในแบตเตอรี่ไฟฟ้าเคมี ฟิล์มอะลูมิเนียม-สแกนเดียมช่วยเพิ่มความเสถียรของอิเล็กโทรดและความต้านทานการกัดกร่อน ยืดอายุการใช้งานของแบตเตอรี่

 สาขาการแพทย์

ฟิล์มที่สร้างจากเป้าสปัตเตอริงอะลูมิเนียม-สแกนเดียมมีคุณสมบัติเข้ากันได้ทางชีวภาพและความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับพื้นผิวของอุปกรณ์ทางการแพทย์ เช่น อุปกรณ์เกี่ยวกับกระดูกและข้อ และขดลวดหลอดเลือดหัวใจ ช่วยเพิ่มความทนทานต่อการสึกหรอของอุปกรณ์ ยืดอายุการใช้งาน และลดความเสี่ยงของการผ่าตัดซ้ำ