アルミニウムスカンジウムスパッタリングターゲット（AlScスパッタリングターゲット）

アルミスカンジウムスプッターターゲットは,アルミとスカンジウム金属から特定の比率で製造された高性能合金ターゲットである.アルミニウムの軽量性と優れた電気と熱伝導性をスカンジウム添加物による,穀物精製,熱安定性の利点がある.通常は真空溶融,粉末金属工,熱同静圧などのプロセスを用いて生産される.完成品には密集した構造があります,均質な組成,低不純度で,高度な薄膜堆積,半導体加工,ディスプレイパネル製造に適しています.

アルミ-スカンジウムスプッターターゲットの主要な利点

わかった 高い 強さ と 軽量

スカンジウム が 加え られ て いる こと は,アルミニウム の 豊富な 合金 に 穀物 の 成長 を 抑制 し,強さ,強さ,疲労 抵抗 を 強化 する 細粒度 の 構造 を 形成 する こと に なり ます.同時に,アルミニウムの低密度は軽量な材料になるこれらの性質は合金組成と製造プロセスに依存する.

わかった 良い熱安定性

スカンジウム の 高度 な 溶融 点 は,高温 の 状態 に 優れた 安定性 を 与える.アルミ-スカンジウム 合金スプートリング標的は高温環境での化学反応や性能低下に耐性があり,良好な物理的および化学的性質を維持する.

わかった 優良 な 伝導 性

アルミニウム・スカンジウム合金フィルムは抵抗性が低く,装置に効率的な電流チャネルを形成する.その伝導性は純粋なアルミニウムよりもわずかに低いが,優れた電気プロフィールを維持する半導体および電子アプリケーションで高信頼性の性能を保証します.

わかった 耐腐食性 が 強い

アルミニウム・スカンジウム合金の耐腐蝕性は,アルミニウム表面に形成された酸化層と,スカンジウムの高い化学的安定性によって表される.化学的に腐食性の高い環境で優れた性能を保ちます.

良いピエゾ電気特性: アルミ-スカンジウムスプートリングSc-ドーピングされたAlNフィルムを準備するために使用されます.AlN に 35% Sc をドーピングすることで,そのピエゾ電気性能 (Keff2) を 15% に増加させることができます.純粋なALN (Keff2 6%) の2.6倍である.

アルミニウム・スカンジウム サポート ターゲットの主要用途

わかった 航空宇宙産業

航空機の翼,機体,エンジンの部品などを製造するために使用され 航空機の総重量を大幅に削減し 燃料効率と飛行性能を向上させます衛星構造物宇宙の厳しい環境で衛星の放射線と腐食耐性を向上させる.

わかった エレクトロニクス産業

半導体製造において,アルミニウム・スカンジウムスプートリング半導体基板に均質で密度の高い薄膜を形成するために マグネトロンスプッターなどの技術で標的が使用されますこれらのフィルムは,集積回路と記憶装置の製造に使用できます.オプティカル・モバイル通信機器では,アルミ・スカンジウム標的から蓄積されたフィルムがRFフィルターや光学隔離器などの重要な部品に使用されます.

わかった 光学および光電子分野

アルミニウム・スカンジウム標的は,噴射によって高反射性および耐腐蝕性を持つ光学フィルムを生成することができる.高級鏡,フィルター,レーザー機器などに使用される.光ファイバー通信において材料として使用され,光ファイバーの耐久性と損傷耐性を効果的に高めます.

わかった エネルギー産業

太陽電池では,アルミニウム・スカンジウム標的フィルムを電極材料として使用し,フィルムの抵抗性を軽減し,電極伝導性を向上させ,太陽電池のエネルギー出力を増加させることができます.電気化学電池アリウム・スカンジウムフィルムは電極の安定性と耐腐蝕性を高め,バッテリーの寿命を延長します.

わかった 医学分野

アルミ・スカンジウムから生成されたフィルムスプートリング標的は優れた生物相容性と耐腐蝕性があり,骨科インプラントや心血管ステントなどの医療インプラントの表面に適しています.植入物 の 耐磨 性 を 効果的に 向上 さ せる寿命を延長し,副次手術のリスクを軽減します.