タングステンカーバイドターゲット(WC)は、高融点・高硬度のタングステンと、優れた耐摩耗性を持つ炭素を一定の割合で組み合わせた機能性ターゲット材料の一種です。非常に高い密度と均一性を特徴としています。主にマグネトロンスパッタリング、イオンプレーティングなどの真空成膜プロセスで使用され、優れた特性を持つ薄膜を製造します。
l 高い硬度と耐摩耗性
タングステンと炭素の組み合わせによりカーバイド様の構造が形成され、高い硬度と強力な耐摩耗性を持つ薄膜が得られ、高負荷で過酷な作業条件に適しています。
l 高融点と耐熱性
タングステンは最大3410℃の融点を持ち、炭素も優れた高温耐性を持つため、ターゲットとコーティングは高温環境下で安定性を保ちます。
l 優れた密着性と高い圧縮強度
成膜された膜は基材にしっかりと密着し、優れた化学的安定性を持ち、デバイスの耐用年数を延ばします。
タングステンカーバイドターゲットの主な用途
l 硬質コーティング
工具、金型、カッターなどの硬質コーティングに広く使用されており、WCやW-C膜は工具の耐摩耗性と耐用年数を向上させます。
l 半導体製造
半導体デバイスやマイクロ電気機械システム(MEMS)で安定した薄膜を製造するためのバリア層、導電層、または機能層材料として使用できます。
l エネルギー分野
太陽電池製造では、タングステンカーバイドターゲットが反射層または導電層の成膜に使用され、デバイスの効率を向上させます。タングステンカーバイドターゲットは、原子力発電所や極めて高エネルギー環境向けの高温・放射線耐性コンポーネントの製造に利用されます。さらに、熱電変換デバイスへの統合は、熱回収と全体的なエネルギー利用効率を大幅に向上させます。