| Markenbezeichnung: | APG |
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Wolfram-Kohlenstoff-Target (WC) ist ein funktionelles Targetmaterial, das aus hochschmelzendem, hochhartem Wolfram in Kombination mit ausgezeichnetem verschleißfestem Kohlenstoff in einem bestimmten Verhältnis besteht. Es zeichnet sich durch eine sehr hohe Dichte und Gleichmäßigkeit aus. Es wird hauptsächlich in der Magnetron-Sputtertechnik, der Ionenplattierung und anderen Vakuum-Beschichtungsverfahren zur Herstellung von Dünnschichten mit hervorragenden Eigenschaften eingesetzt.
l Hohe Härte und Verschleißfestigkeit
Die Kombination von Wolfram und Kohlenstoff bildet eine karbidähnliche Struktur, die zu Dünnschichten mit hoher Härte und starker Verschleißfestigkeit führt, geeignet für hohe Belastungen und raue Arbeitsbedingungen.
l Hoher Schmelzpunkt und Hitzebeständigkeit
Wolfram hat einen Schmelzpunkt von bis zu 3410°C, und Kohlenstoff weist ebenfalls eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit auf, wodurch sichergestellt wird, dass das Target und die Beschichtung in Umgebungen mit hohen Temperaturen stabil bleiben.
l Hervorragende Haftung und hohe Druckfestigkeit
Der abgeschiedene Film haftet fest am Substrat und weist eine ausgezeichnete chemische Stabilität auf, was die Lebensdauer der Geräte verlängert.
Hauptanwendungen von Wolfram-Kohlenstoff-Targets
l Harte Beschichtungen
Es wird häufig für harte Beschichtungen auf Werkzeugen, Formen und Schneidwerkzeugen verwendet, wie z. B. WC- und W-C-Filme, wodurch die Verschleißfestigkeit und Lebensdauer von Werkzeugen verbessert wird.
l Halbleiterfertigung
Es kann als Barriereschicht, leitfähige Schicht oder funktionelle Schicht für die Herstellung stabiler Dünnschichten in Halbleiterbauelementen und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) verwendet werden.
l Energiesektor
Bei der Herstellung von Solarzellen werden Wolframkarbid-Targets zur Abscheidung von reflektierenden Schichten oder leitfähigen Schichten verwendet, um die Effizienz der Geräte zu verbessern. Wolframkarbid-Targets werden zur Herstellung von hochtemperaturbeständigen und strahlungshärtenden Komponenten für Kernreaktoren und extreme Hochenergieumgebungen eingesetzt. Darüber hinaus verbessert ihre Integration in thermoelektrische Energieumwandlungsgeräte die Wärmerückgewinnung und die Gesamteffizienz der Energienutzung erheblich.