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Il bersaglio di carbonio di tungsteno (WC) è un tipo di materiale bersaglio funzionale composto da tungsteno ad alto punto di fusione e alta durezza combinato con carbonio eccellente resistente all'usura in una certa proporzione. Presenta una densità e uniformità molto elevate. È utilizzato principalmente in sputtering magnetronico, deposizione ionica e altri processi di rivestimento sottovuoto per produrre film sottili con eccellenti proprietà.
l Elevata durezza e resistenza all'usura
La combinazione di tungsteno e carbonio forma una struttura simile a un carburo, risultando in film sottili con elevata durezza e forte resistenza all'usura, adatti per condizioni di lavoro ad alto carico e difficili.
l Alto punto di fusione e resistenza al calore
Il tungsteno ha un punto di fusione fino a 3410°C e anche il carbonio ha un'eccellente resistenza alle alte temperature, garantendo che il bersaglio e il rivestimento rimangano stabili in ambienti ad alta temperatura.
l Eccellente adesione e elevata resistenza alla compressione
Il film depositato aderisce saldamente al substrato e presenta un'eccellente stabilità chimica, prolungando la durata dei dispositivi.
Principali applicazioni del bersaglio di carbonio di tungsteno
l Rivestimenti duri
È ampiamente utilizzato per rivestimenti duri su utensili, stampi e frese, come film WC e W-C, migliorando la resistenza all'usura e la durata degli utensili.
l Produzione di semiconduttori
Può essere utilizzato come strato barriera, strato conduttivo o materiale per strati funzionali per la produzione di film sottili stabili in dispositivi a semiconduttore e sistemi micro-elettromeccanici (MEMS).
l Settore energetico
Nella produzione di celle solari, i bersagli di carburo di tungsteno vengono utilizzati per depositare strati riflettenti o strati conduttivi, migliorando l'efficienza del dispositivo. I bersagli di carburo di tungsteno sono utilizzati per fabbricare componenti resistenti alle alte temperature e alle radiazioni per reattori nucleari e ambienti ad altissima energia. Inoltre, la loro integrazione in dispositivi di conversione di energia termoelettrica migliora significativamente il recupero termico e l'efficienza complessiva di utilizzo dell'energia.