텅스텐 탄소 타겟(WC)은 고융점, 고경도의 텅스텐과 우수한 내마모성 탄소를 특정 비율로 결합한 기능성 타겟 재료입니다. 매우 높은 밀도와 균일성을 특징으로 합니다. 주로 마그네트론 스퍼터링, 이온 도금 및 기타 진공 코팅 공정에 사용되어 우수한 특성을 가진 박막을 생산합니다.
l 높은 경도 및 내마모성
텅스텐과 탄소의 결합은 탄화물과 유사한 구조를 형성하여 높은 경도와 강한 내마모성을 가진 박막을 생성하며, 이는 고하중 및 열악한 작업 조건에 적합합니다.
l 높은 융점 및 내열성
텅스텐은 최대 3410°C의 융점을 가지며, 탄소 또한 우수한 고온 저항성을 가지고 있어 고온 환경에서 타겟과 코팅이 안정적으로 유지됩니다.
l 우수한 접착력 및 높은 압축 강도
증착된 박막은 기판에 단단히 부착되며 우수한 화학적 안정성을 가져 장치의 수명을 연장합니다.
텅스텐 탄소 타겟의 주요 응용 분야
l 하드 코팅
공구, 금형, 절삭 공구 등에 WC 및 W-C 박막과 같은 하드 코팅으로 널리 사용되어 공구의 내마모성과 수명을 향상시킵니다.
l 반도체 제조
반도체 소자 및 미세 전기 기계 시스템(MEMS)에서 안정적인 박막을 생산하기 위한 차단층, 전도성층 또는 기능성층 재료로 사용될 수 있습니다.
l 에너지 분야
태양 전지 제조에서 텅스텐 카바이드 타겟은 반사층 또는 전도성층을 증착하여 장치 효율을 향상시키는 데 사용됩니다. 텅스텐 카바이드 타겟은 원자로 및 극한의 고에너지 환경을 위한 고온 및 방사선 경화 부품을 제작하는 데 활용됩니다. 또한, 열전 에너지 변환 장치에 통합되어 열 회수 및 전반적인 에너지 이용 효율을 크게 향상시킵니다.