ターゲットボンディング接着剤は、スパッタリングターゲットをバックプレートにしっかりと接着するために使用される特殊な接着剤です。物理蒸着(PVD)などのプロセスで重要な役割を果たします。
● プロセスフレンドリー
通常、中〜低温で硬化するため、高温によるターゲット材料特性への潜在的なダメージを回避し、比較的簡単に操作できます。● ストレスバッファリング
一定の柔軟性により、熱膨張係数の違いによってターゲットとバックプレート間に発生する応力を効果的に緩和します。
● 全体的な性能安定性
良好な化学的および機械的安定性を持ち、様々な基材(アルミニウム、銅、ステンレス鋼、ガラスなど)への強力な接着力を発揮し、環境に優しく無毒です。
応用分野
ITO(酸化インジウムスズ)やSiO₂などのセラミックターゲットの接着に特に適しており、これらは脆性があり、支持と放熱のために接着が必要です。
● 熱に敏感なターゲットまたは特殊ターゲット
高温での接着に耐えられないターゲット(特定の酸化物ターゲットなど)、有機ターゲット、または一時的な接着用途に適しています。