Proceso de adhesivo de pulverización de la unión de objetivos amortiguador de estrés amigable

El adhesivo de unión de objetivos es un adhesivo especializado que se utiliza para unir de forma segura los objetivos de pulverización a la placa de soporte. Juega un papel clave en procesos como la deposición física de vapor (PVD).

Ventajas principales

Amigable con el proceso

Típicamente cura a temperaturas de medias a bajas, evitando daños potenciales a las propiedades del material del objetivo por altas temperaturas, y es relativamente fácil de operar.

Amortiguación de tensiones

Con cierta flexibilidad, alivia eficazmente la tensión generada entre el objetivo y la placa de soporte debido a las diferencias en los coeficientes de expansión térmica.

Estabilidad general del rendimiento

Tiene buena estabilidad química y mecánica, fuerte adhesión a varios sustratos (como aluminio, cobre, acero inoxidable, vidrio), y es respetuoso con el medio ambiente y no tóxico.

Campos de aplicación

Unión de objetivos cerámicos y frágiles

Especialmente adecuado para unir objetivos cerámicos como ITO (óxido de indio y estaño) y SiO₂, que son frágiles y requieren unión para soporte y disipación de calor.

Objetivos sensibles a la temperatura o especiales

Adecuado para objetivos que no pueden soportar la unión a alta temperatura (como ciertos objetivos de óxido), objetivos orgánicos o aplicaciones de unión temporal.