Processo di adesione per bersagli di sputtering con ammortizzazione dello stress

L'adesivo per il fissaggio del target è un adesivo specializzato utilizzato per fissare saldamente i target di sputtering alla piastra di supporto. Svolge un ruolo chiave in processi come la deposizione fisica da vapore (PVD).

Vantaggi principali

Amichevole al processo

Generalmente polimerizza a temperature da medie a basse, evitando potenziali danni alle proprietà del materiale del target dovuti ad alte temperature, ed è relativamente facile da usare.

Ammortizzazione dello stress

Con una certa flessibilità, allevia efficacemente lo stress generato tra il target e la piastra di supporto a causa delle differenze nei coefficienti di espansione termica.

Stabilità generale delle prestazioni

Ha una buona stabilità chimica e meccanica, forte adesione a vari substrati (come alluminio, rame, acciaio inossidabile, vetro), ed è ecologico e non tossico.

Campi di applicazione

Fissaggio di target ceramici e fragili

Particolarmente adatto per il fissaggio di target ceramici come ITO (ossido di indio-stagno) e SiO₂, che sono fragili e richiedono un fissaggio per il supporto e la dissipazione del calore.

Target termicamente sensibili o speciali

Adatto per target che non possono resistere al fissaggio ad alta temperatura (come alcuni target di ossido), target organici o applicazioni di fissaggio temporaneo.