PVD 코팅용 티타늄 붕화물 TiB2 세라믹 스퍼터링 타겟

티타늄 디보라이드 타겟은 고순도 TiB₂ 분말을 열간 압축 또는 소결 공정을 통해 제조된 세라믹 타겟입니다. 높은 녹는점과 높은 경도를 가진 기능성 소재입니다. 금속 티타늄의 뛰어난 화학적 안정성과 보라이드의 높은 경도, 내마모성, 내식성을 결합하여 TiB₂ 타겟은 탁월한 성능을 제공합니다. 이러한 타겟은 물리 증착(PVD), 마그네트론 스퍼터링, 화학 증착(CVD)을 포함한 다양한 코팅 공정에 널리 사용되어 다양한 기판에 고성능 세라믹 박막을 증착할 수 있습니다.

티타늄 디보라이드 타겟의 뛰어난 특성

l 초고경도 및 내마모성

증착된 박막은 3000 HV 이상의 비커스 경도를 달성하여 표면 긁힘 저항 및 내마모성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

l 우수한 내식성 및 내산화성

박막은 산성, 알칼리성 및 고온 산화 환경에서 안정적으로 유지되어 반응 및 열화를 방지하며, 열악한 작동 조건에서 보호 코팅에 적합합니다.

l 우수한 전기 및 열 전도성

기존 세라믹과 달리 티타늄 디보라이드는 상당한 수준의 전기 및 열 전도성을 나타냅니다. 이 독특한 특성은 뛰어난 경도와 전도성 기능을 모두 요구하는 고급 기능성 코팅에 적합합니다.

l 우수한 접착력 및 박막 밀도

고순도 TiB₂ 타겟을 사용하면 밀도가 높고 균일하며 접착력이 강한 박막을 형성하여 제품의 일관성과 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다.

티타늄 디보라이드 타겟의 광범위한 응용 분야

l D디스플레이 패널

LCD, OLED, Mini/Micro-LED와 같은 고급 디스플레이 제조에서 인듐 세륨 산화물 타겟을 스퍼터링하여 디스플레이 패널 전극 및 상호 연결을 위한 높은 투과율과 낮은 비저항을 가진 투명 전도성 박막을 형성하여 밝기 균일성, 대비 및 수명을 크게 향상시킬 수 있습니다.

l 터치스크린 기술

스마트폰, 태블릿, 자동차 디스플레이, 산업 제어 패널과 같은 터치 제품에서 티타늄 디보라이드 박막은 터치 전극으로 기존 ITO 박막을 대체하여 더 빠른 응답, 더 나은 투과율 및 향상된 유연성 호환성을 제공하며, 좁은 베젤 및 대형 터치스크린 설계를 지원합니다.

 l 태양광 산업

HJT 및 페로브스카이트 탠덤 셀과 같은 고효율 태양 전지에서 투명 전도성 전극 재료로 사용되어 직렬 저항을 줄이고 광전 변환 효율을 개선하며 안정성을 향상시켜 차세대 태양광 모듈에 대한 고성능 전도성 솔루션을 제공합니다.

l 유연 전자 제품

폴리이미드(PI) 및 PET와 같은 유연 기판에 스퍼터링하여 유연 투명 전극을 형성할 수 있으며, 접이식 디스플레이, 웨어러블 장치 및 유연 센서와 같은 신흥 제품에 적용됩니다.

l 광학 장치 제조

광학 유리, 광학 필름 스택, 필터 및 반사 방지 코팅에 사용되어 높은 투과율을 유지하면서 전도성 또는 정전기 방지 특성을 제공하여 광통신 및 광센싱과 같은 정밀 광학 분야에 적합합니다.