고저항 타겟은 높은 비저항을 갖는 금속 또는 합금 재료를 특징으로 하는 스퍼터링 코팅용 기능성 타겟 재료의 한 종류입니다. 물리 증착(PVD) 공정에서 GXO 타겟은 고저항 박막을 형성할 수 있으며, 이는 광학, 전자, 반도체, 기능성 코팅 및 기타 분야에 적합합니다. 타겟 재료의 조성과 구조를 제어함으로써 높은 저항, 우수한 안정성 및 강한 접착력을 갖는 박막을 얻을 수 있으며, 이는 장치 성능 최적화 및 특수 기능 요구 사항을 충족합니다.
조절 가능한 저항
박막의 저항은 10⁶–10⁹ Ω 범위 내에서 안정적인 신뢰성으로 임의로 조정할 수 있습니다.
제어 가능한 성능
타겟 조성 또는 공정 매개변수를 조정하여 저항, 광 투과율 또는 두께를 정밀하게 제어할 수 있으며, 다양한 응용 시나리오의 요구를 충족합니다.
우수한 열 안정성
박막은 고온 또는 장기 작동 환경에서 안정적인 성능을 유지하며, 전도성 저하 또는 박막 균열이 발생하기 쉽지 않습니다.
우수한 박막 밀착성 및 접착력
고저항 타겟으로 증착된 박막은 조밀하고 균일한 구조를 특징으로 하며, 기판과 단단히 결합되어 장치의 수명과 신뢰성을 향상시킵니다.
태양광 산업
LCD, OLED, 터치스크린 또는 박막 태양전지에 고저항 박막을 증착하여 높은 광 투과율을 유지하면서 균일한 저항층을 제공하고, 균일한 디스플레이 밝기와 민감한 터치 응답을 보장합니다. 태양광 모듈에서는 누설 전류를 줄이고 광전 변환 효율을 향상시킵니다.
자동차 유리
자동차 앞유리, 백미러 및 건축용 유리의 투명 가열층으로 적용되는 고저항 박막은 빠르고 균일하게 가열되어 유리의 김 서림 또는 성에 방지 기능을 제공하며 안전성과 편안함을 향상시킵니다. 한편, 박막은 시야에 영향을 미치지 않는 높은 광 투과율을 갖습니다.
반도체 제조
센서, MEMS(미세 전기 기계 시스템) 또는 집적 회로에서 저항 필름, 버퍼층 또는 절연층으로 사용되어 전류 밀도를 정밀하게 제어하고, 과전류 또는 단락으로 인한 장치 손상을 방지하며, 높은 신뢰성과 장기적인 안정성을 제공합니다.l광학 기능 필름광학 필터 및 센서의 기능성 필름층으로 사용되는 고저항 박막은 안정적인 광 투과 또는 반사 성능을 보장하고, 고온 및 환경 변화에 저항하며, 광학 장치의 수명을 연장합니다.