| Markenbezeichnung: | APG |
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Hochohmige Targets sind eine Kategorie von funktionellen Targetmaterialien für Sputterbeschichtungen, die sich durch Metall- oder Legierungsmaterialien mit hohem spezifischem Widerstand auszeichnen. Im physikalischen Gasphasenabscheidungsprozess (PVD) können GXO-Targets hochohmige Dünnschichten bilden, die für Optik, Elektronik, Halbleiter, Funktionsbeschichtungen und andere Bereiche geeignet sind. Durch die Steuerung der Zusammensetzung und Struktur der Targetmaterialien können Dünnschichten mit hohem Widerstand, guter Stabilität und starker Haftung erhalten werden, die die Anforderungen an die Optimierung der Geräteleistung und spezielle Funktionsanforderungen erfüllen.
l Abstimmbarer Widerstand
Der Widerstand der Dünnschicht kann innerhalb des Bereichs von 10⁶–10⁹ Ω mit stabiler Zuverlässigkeit beliebig eingestellt werden.
l Kontrollierbare Leistung
Eine präzise Steuerung des Widerstands, der Lichtdurchlässigkeit oder der Dicke kann durch Anpassung der Targetzusammensetzung oder der Prozessparameter erreicht werden, was den Anforderungen verschiedener Anwendungsszenarien gerecht wird.
l Gute thermische Stabilität
Die Dünnschicht behält ihre stabile Leistung in Hochtemperatur- oder Langzeitbetriebsumgebungen bei und ist nicht anfällig für Leitfähigkeitsdegradation oder Rissbildung der Schicht.
l Hervorragende Schichtkompaktheit und Haftung
Die durch hochohmige Targets abgeschiedene Dünnschicht weist eine dichte und gleichmäßige Struktur auf und haftet fest am Substrat, was die Lebensdauer und Zuverlässigkeit von Geräten verbessert.
l Photovoltaikindustrie
Hochohmige Dünnschichten werden auf LCDs, OLEDs, Touchscreens oder Dünnschichtsolarzellen abgeschieden, um eine gleichmäßige Widerstandsschicht zu bilden und gleichzeitig eine hohe Lichtdurchlässigkeit zu gewährleisten, was eine gleichmäßige Displayhelligkeit und eine empfindliche Touch-Reaktion sicherstellt. In Photovoltaikmodulen reduzieren sie den Leckstrom und verbessern die photoelektrische Umwandlungseffizienz.
l Automobilglas
Als transparente Heizschichten für Windschutzscheiben, Rückspiegel und architektonisches Glas können hochohmige Schichten schnell und gleichmäßig erwärmt werden, um ein Beschlagen oder Vereisen des Glases zu verhindern und Sicherheit und Komfort zu verbessern. Gleichzeitig weisen die Schichten eine hohe Lichtdurchlässigkeit auf, die die Sichtlinie nicht beeinträchtigt.
l Halbleiterfertigung
Eingesetzt als Widerstandsschichten, Pufferschichten oder Isolationsschichten in Sensoren, Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) oder integrierten Schaltungen, steuern sie präzise die Stromdichte, schützen Geräte vor Schäden durch Überstrom oder Kurzschlüsse und bieten hohe Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität.
l Optische Funktionsschichten
Als funktionale Schichten für optische Filter und Sensoren gewährleisten die gebildeten hochohmigen Dünnschichten eine stabile optische Übertragungs- oder Reflexionsleistung, widerstehen hohen Temperaturen und Umweltveränderungen und verlängern die Lebensdauer optischer Geräte.