Coating Productielijn Sputter Target Bonding Service Roterende Target Bonding

In productielijnen voor coatings met een groot oppervlak zijn roterende doelen een veel voorkomende vorm van sputterdoel. De zogenaamde "roterende doelbinding" verwijst naar het veilig verbinden van het cilindrische doel met het kathodesysteem van de apparatuur, waardoor het tijdens bedrijf soepel kan roteren, waardoor een uniform verbruik wordt gegarandeerd en tegelijkertijd een betrouwbare overdracht van waterkoeling, gas en elektrische stroom wordt gegarandeerd.

Het hechtingsproces heeft rechtstreeks invloed op de levensduur van het doel, de uniformiteit van de afgezette film en de stabiliteit van de apparatuur. Een goede verbindingsoplossing zorgt ervoor dat het doel concentrisch en stabiel blijft tijdens rotatie op hoge snelheid, waardoor water- of gaslekken worden voorkomen, stabiel elektrisch contact wordt gegarandeerd en resulterende films met superieure uniformiteit.

 Uitstekende kenmerken van roterende doelbinding

l Zorgt voor een uniform verbruik van het doel tijdens langdurig sputteren, waardoor de levensduur ervan wordt verlengd;

l Verbetert de uniformiteit van de filmdikte en -samenstelling, waardoor het uitvalpercentage wordt verminderd;

l Snelle vervanging, korte stilstand en verbeterde bezettingsgraad van de productielijn;

l Betrouwbare afdichting om waterkoelingslekken te voorkomen en stilstand van apparatuur te voorkomen.