Kaplama Üretim hattı Sputtering Hedef Bağlama Servisi Döner Hedef Bağlama

Büyük alan kaplama üretim hatlarında, döner hedefler, püskürtme hedefinin yaygın bir biçimidir. "Döner hedef bağlama" olarak adlandırılan işlem, silindirik hedefin ekipmanın katot sistemine güvenli bir şekilde bağlanmasını, çalışma sırasında sorunsuz dönmesini sağlayarak homojen tüketimini garanti ederken, su soğutma, gaz ve elektrik akımının güvenilir iletimini de sağlar.

Bağlama işlemi, hedefin ömrünü, kaplanan filmin homojenliğini ve ekipman kararlılığını doğrudan etkiler. İyi bir bağlama çözümü, hedefin yüksek hızlı dönüş sırasında eş merkezli ve kararlı kalmasını, su veya gaz sızıntısını önlemesini, kararlı elektriksel teması sağlamasını ve üstün homojenliğe sahip filmler elde etmesini sağlar.

 Döner Hedef Bağlamanın Üstün Özellikleri

l Uzun süreli püskürtme sırasında hedefin homojen tüketilmesini sağlayarak hizmet ömrünü uzatır;

l Film kalınlığı ve bileşim homojenliğini iyileştirerek hurda oranını azaltır;

l Hızlı değişim, kısa duruş süresi ve üretim hattı kullanım oranında artış;

l Su soğutma sızıntılarını önleyen güvenilir sızdırmazlık, ekipman duruş sürelerini önler.