Layanan Ikatan Target Sputtering Lini Produksi Pelapisan Ikatan Target Rotary

Dalam lini produksi pelapisan area luas, target berputar adalah bentuk umum dari target sputtering. Yang disebut "ikatan target putar" mengacu pada penyambungan target silindris dengan aman ke sistem katoda peralatan, memungkinkannya berputar dengan lancar selama operasi, memastikan konsumsi yang seragam, sambil menjamin transmisi pendinginan air, gas, dan arus listrik yang andal.

Proses ikatan secara langsung memengaruhi masa pakai target, keseragaman film yang diendapkan, dan stabilitas peralatan. Solusi ikatan yang baik memastikan target tetap konsentris dan stabil selama rotasi berkecepatan tinggi, mencegah kebocoran air atau gas, memastikan kontak listrik yang stabil, dan menghasilkan film dengan keseragaman yang unggul.

 Karakteristik Unggul dari Ikatan Target Putar

l Memastikan konsumsi target yang seragam selama sputtering berkepanjangan, memperpanjang masa pakainya;

l Meningkatkan keseragaman ketebalan dan komposisi film, mengurangi tingkat cacat;

l Penggantian cepat, waktu henti singkat, dan peningkatan tingkat utilisasi lini produksi;

l Penyegelan yang andal untuk mencegah kebocoran pendinginan air, menghindari waktu henti peralatan.