대면적 코팅 생산 라인에서 회전 타겟은 스퍼터링 타겟의 일반적인 형태입니다. 소위 "회전 타겟 본딩"은 원통형 타겟을 장비의 음극 시스템에 안전하게 연결하여 작동 중 부드럽게 회전하도록 함으로써 균일한 소모를 보장하고, 수냉, 가스 및 전류의 안정적인 전달을 보장하는 것을 의미합니다.
본딩 공정은 타겟의 수명, 증착 필름의 균일성 및 장비 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다. 우수한 본딩 솔루션은 고속 회전 중 타겟이 동심 및 안정성을 유지하도록 하여 물 또는 가스 누출을 방지하고 안정적인 전기 접촉을 보장하며 우수한 균일성을 가진 필름을 얻도록 합니다.
회전 타겟 본딩의 뛰어난 특징
l 장시간 스퍼터링 중 타겟의 균일한 소모를 보장하여 수명을 연장합니다.
l 필름 두께 및 조성의 균일성을 개선하여 불량률을 줄입니다.
l 빠른 교체, 짧은 다운타임 및 생산 라인 활용률 향상
l 수냉 누수를 방지하는 안정적인 밀봉으로 장비 다운타임을 방지합니다.