| Marchio: | APG |
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Nelle linee di produzione di rivestimenti su larga scala, i target rotanti sono una forma comune di target di sputtering. Il cosiddetto "bonding di target rotanti" si riferisce al collegamento sicuro del target cilindrico al sistema catodico dell'apparecchiatura, consentendogli di ruotare uniformemente durante il funzionamento, garantendo un consumo uniforme, garantendo al contempo una trasmissione affidabile del raffreddamento ad acqua, del gas e della corrente elettrica.
Il processo di bonding influisce direttamente sulla durata del target, sull'uniformità del film depositato e sulla stabilità dell'apparecchiatura. Una buona soluzione di bonding garantisce che il target rimanga concentrico e stabile durante la rotazione ad alta velocità, prevenendo perdite d'acqua o di gas, garantendo un contatto elettrico stabile e film risultanti con uniformità superiore.
Caratteristiche eccezionali del bonding di target rotanti
l Garantisce un consumo uniforme del target durante lo sputtering prolungato, estendendone la durata utile;
l Migliora l'uniformità dello spessore e della composizione del film, riducendo il tasso di scarto;
l Sostituzione rapida, tempi di inattività ridotti e miglioramento del tasso di utilizzo della linea di produzione;
l Sigillatura affidabile per prevenire perdite di raffreddamento ad acqua, evitando tempi di inattività dell'apparecchiatura.