大面積コーティング生産ラインでは、回転ターゲットはスパッタリングターゲットの一般的な形態です。「ロータリーターゲットボンディング」とは、円筒形のターゲットを装置のカソードシステムにしっかりと接続し、運転中にスムーズに回転できるようにすることで、均一な消耗を確保し、同時に水冷、ガス、および電流の信頼性の高い伝送を保証することを指します。
ボンディングプロセスは、ターゲットの寿命、成膜の均一性、および装置の安定性に直接影響します。優れたボンディングソリューションは、ターゲットが高速回転中に同心度と安定性を維持し、水やガスの漏れを防ぎ、安定した電気的接触を確保し、優れた均一性の膜をもたらします。
回転ターゲットボンディングの優れた特徴
l 長時間のスパッタリング中にターゲットの均一な消耗を確保し、寿命を延ばします。
l 膜厚と組成の均一性を向上させ、スクラップ率を低減します。
l 迅速な交換、短いダウンタイム、および生産ラインの稼働率の向上。
l 水冷漏れを防ぐ信頼性の高いシーリングにより、装置のダウンタイムを回避します。