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商品の詳細

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スパッタリングターゲット接合サービス
Created with Pixso. コーティング製造ライン スパッタリングターゲット接合サービス ロータリーターゲット接合
詳細情報
起源の場所:
中国
証明:
ISO9001、ISO14001、ISO45001、IAFT16949
名前:
ロータリーターゲットボンディング
ボンディングサービス:
お客様へのバッキングプレート接着サービスの提供
パッケージの詳細:
真空密封包装、保管および輸送用にケース詰め
供給の能力:
安定した供給
ハイライト:

スパッタリング ロータリーターゲット接合

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コーティング スパッタリングターゲット接合サービス

,

IAFT16949 スパッタリングターゲット接合サービス

製品の説明

大面積コーティング生産ラインでは、回転ターゲットはスパッタリングターゲットの一般的な形態です。「ロータリーターゲットボンディング」とは、円筒形のターゲットを装置のカソードシステムにしっかりと接続し、運転中にスムーズに回転できるようにすることで、均一な消耗を確保し、同時に水冷、ガス、および電流の信頼性の高い伝送を保証することを指します。

ボンディングプロセスは、ターゲットの寿命、成膜の均一性、および装置の安定性に直接影響します。優れたボンディングソリューションは、ターゲットが高速回転中に同心度と安定性を維持し、水やガスの漏れを防ぎ、安定した電気的接触を確保し、優れた均一性の膜をもたらします。

 回転ターゲットボンディングの優れた特徴

 

l 長時間のスパッタリング中にターゲットの均一な消耗を確保し、寿命を延ばします。

 

l 膜厚と組成の均一性を向上させ、スクラップ率を低減します。

 

l 迅速な交換、短いダウンタイム、および生産ラインの稼働率の向上。

 

l 水冷漏れを防ぐ信頼性の高いシーリングにより、装置のダウンタイムを回避します。