Beschichtungs-Produktionslinie Sputtern Zielbindungsdienst Drehzielbindung

In Produktionslinien für großflächige Beschichtungen sind rotierende Targets eine gängige Form von Sputtertargets. Das sogenannte „Rotary Target Bonding“ bezieht sich auf die sichere Verbindung des zylindrischen Targets mit dem Kathodensystem der Anlage, wodurch es während des Betriebs reibungslos rotieren kann, eine gleichmäßige Abnutzung gewährleistet und gleichzeitig eine zuverlässige Übertragung von Kühlwasser, Gas und elektrischem Strom garantiert.

Der Bonding-Prozess beeinflusst direkt die Lebensdauer des Targets, die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schicht und die Stabilität der Anlage. Eine gute Bonding-Lösung stellt sicher, dass das Target während der Hochgeschwindigkeitsrotation konzentrisch und stabil bleibt, Wasser- oder Gaslecks verhindert, einen stabilen elektrischen Kontakt gewährleistet und zu Schichten mit überlegener Gleichmäßigkeit führt.

 Herausragende Eigenschaften des Rotary Target Bonding

l Gewährleistet eine gleichmäßige Abnutzung des Targets während des Langzeit-Sputterns und verlängert dessen Lebensdauer;

l Verbessert die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke und -zusammensetzung und reduziert die Ausschussrate;

l Schneller Austausch, kurze Ausfallzeiten und verbesserte Auslastung der Produktionslinie;

l Zuverlässige Abdichtung zur Vermeidung von Kühlwasserlecks und zur Vermeidung von Anlagenausfallzeiten.