Planar Target Bonding Service voor PVD Coating

Planar Target Bonding verwijst naar de technologie die het blanco doel (coatingmateriaal) veilig aan de achterplaat hecht via een specifiek proces om een ​​planair doelsamenstel te vormen, dat veel wordt gebruikt op het gebied van fysieke dampdepositie (PVD).

Het hechtingsproces heeft rechtstreeks invloed op de levensduur van het doel, de uniformiteit van de afgezette film en de stabiliteit van de apparatuur. Een goede verbindingsoplossing zorgt ervoor dat het doel concentrisch en stabiel blijft tijdens rotatie op hoge snelheid, waardoor water- of gaslekken worden voorkomen, stabiel elektrisch contact wordt gegarandeerd en resulterende films met superieure uniformiteit.

Uitstekende kenmerken van planaire doelbinding

l Zorgt voor een uniform verbruik van het doel tijdens langdurig sputteren, waardoor de levensduur ervan wordt verlengd;

l Verbetert de uniformiteit van de filmdikte en -samenstelling, waardoor het uitvalpercentage wordt verminderd;

l Snelle vervanging, korte stilstand en verbeterde bezettingsgraad van de productielijn;

l Betrouwbare afdichting om waterkoelingslekken te voorkomen en stilstand van apparatuur te voorkomen.