平面標的結合とは,平面標的組成物を形成するための特定のプロセスを通じて,標的空白 (コーティング材料) をサポートプレートにしっかりと結合させる技術を指します.物理蒸気堆積 (PVD) コーティング分野で広く使用されています.
粘着プロセスは標的の寿命,堆積されたフィルムの均一性,機器の安定性に直接影響します.良質な結合溶液は,高速回転中に標的がコンセントリックで安定していることを保証します水やガスの漏れを防止し,安定した電気接触を保証し,優れた均質性を持つフィルムが得られます.
わかった 長期にわたるスプッティング中に標的の均等な消費を保証し,使用寿命を延長する.
わかった 薄膜の厚さと組成の均一性を向上させ,スクラップ率を減少させる.
わかった 迅速な交換,短時間停止,生産ライン利用率の向上
わかった 信頼性の高い密封により,冷却水の漏れを防止し,設備の停止を回避します.